[发明专利]超声换能器和制造超声换能器的方法在审
申请号: | 201280055479.8 | 申请日: | 2012-09-20 |
公开(公告)号: | CN103946996A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 库莱沃·许尼宁;宋俊昊 | 申请(专利权)人: | 新宁研究院 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;王艳春 |
地址: | 加拿大*** | 国省代码: | 加拿大;CA |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超声 换能器 制造 方法 | ||
1.声学装置,包括:
多个声换能器元件;
每个所述声换能器元件包括换能器的多元件阵列的元件;
每个所述声换能器元件能够沿第一轴线机械地响应于接收的电驱动信号,以当由一对电极沿第二轴线施加所述接收的电驱动信号时沿所述第一轴线振动,其中所述一对电极与所述换能器的对应的相对面电耦合,所述第二轴线基本垂直于所述第一轴线,以及
其中所述多个声换能器元件相对于彼此设置在所述多元件阵列的面中,使得设置在两个相邻的声换能器元件之间的公共电极在所述两个相邻的声换能器元件之间被共享,并充当所述两个相邻的声换能器元件中每个的一个电极或一对电极。
2.如权利要求1所述的装置,其中所述多个声换能器元件沿所述第二轴线堆叠,以沿所述第二轴线一个位于另一个旁边地形成元件的线型阵列,并从所述线型阵列的与所述第二轴线垂直的工作面发送声能。
3.如权利要求2所述的装置,其中所述装置包括声换能器元件和夹在所述阵列的每两个相邻声换能器元件之间的导电电极的交替序列。
4.如权利要求1所述的装置,其中所述多个声换能器元件设置在所述阵列中,以形成沿所述第二轴线并沿与所述第一轴线和所述第二轴线基本垂直的第三轴线延伸的阵列。
5.如权利要求4所述的装置,其中所述阵列元件沿标准笛卡尔坐标系的x维度(第二轴线)和y维度(第三轴线)延伸并沿所述标准笛卡尔坐标系的z维度(第一轴线)辐射声能。
6.如权利要求1所述的装置,其中第一换能器元件具有沿所述第一轴线的第一物理维度,以具有由所述第一物理维度限定的第一对应谐振频率,第二换能器元件具有与所述第一物理维度不同的第二物理维度并具有由所述第二物理维度限定的第二对应谐振频率,所述第二对应谐振频率不同于所述第一对应谐振频率。
7.制造换能器元件的声学阵列的方法,包括:
提供多个声换能器元件,其中每个所述声换能器元件具有限定其空间范围的多个维度,所述多个维度包括沿第一轴线的第一维度,所述声换能器元件在由电驱动信号激发时沿所述第一轴线辐射声能;
沿与所述第一轴线基本垂直的至少第一轴线在所述阵列的工作面中机械地布置所述多个换能器元件;
提供多个导电箔,所述多个导电箔充当电极以向所述换能器元件传输电驱动信号,所述多个导电箔插设在所述多个声换能器元件之间,使得相邻的一对换能器元件共享位于该对换能器之间的同一电极;以及
使用电驱动信号通过所述导电电极驱动所述多个换能器元件。
8.如权利要求7所述的方法,其中所述布置的步骤包括沿着单个轴线相对于彼此布置所述换能器元件。
9.如权利要求7所述的方法,其中所述布置的步骤包括沿着均与所述第一轴线垂直的两个维度布置所述换能器元件。
10.如权利要求9所述的方法,还包括向所述阵列的表面施加低温焊料,以将所述换能器元件连接至所述阵列。
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