[发明专利]负型感光性树脂组合物、分隔壁、黑色矩阵以及光学元件有效
申请号: | 201280055560.6 | 申请日: | 2012-11-09 |
公开(公告)号: | CN103946747B | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 小尾正树;山田光太郎 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/033;G03F7/075;G03F7/20;H01L21/027 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 负型感光性树脂组合物 黑色矩阵 隔壁 黑色有机颜料 碱可溶性树脂 芳香族环 光学元件 酸性基团 主链 光聚合引发剂 贮存稳定性 碱显影液 烯属双键 有机颜料 微细 分散性 接触孔 固化 图案 | ||
1.一种负型感光性树脂组合物,其特征在于,其含有:主链包含芳香族环且分子中具有酸性基团和烯属双键的碱可溶性树脂(A1)、主链不包含芳香族环且分子中具有酸性基团的碱可溶性树脂(A2)、黑色有机颜料(B)、以及光聚合引发剂(C),该组合物中的固体成分酸值为10~50mgKOH/g,
所述黑色有机颜料(B)的基于BET法的比表面积为50~200m2/g,基于透射型电子显微镜观察的平均1次粒径为20~150nm,负型感光性树脂组合物中的总固体成分中的黑色有机颜料(B)的含有比率为20~65质量%,
碱可溶性树脂(A1):碱可溶性树脂(A2)的质量比为97~85:3~15。
2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述负型感光性树脂组合物中的总固体成分中的碱可溶性树脂(A1)与碱可溶性树脂(A2)的合计含有比率为5~80质量%。
3.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述碱可溶性树脂(A1)和碱可溶性树脂(A2)中的任一者的质均分子量为10000以上。
4.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述光聚合引发剂(C)包含下式(1)所示的化合物,
式(1)中,R1表示氢原子,碳原子数1~12的烷基,碳原子数3~8的环烷基,碳原子数2~5的烯基,苯环中的氢原子可以被烷基取代的、碳原子数6~20的苯基,或苯环中的氢原子可以被烷基取代的、碳原子数6~20的苯氧基;
R2表示氢原子,碳原子数1~20的烷基,碳原子数3~8的环烷基,苯环中的氢原子可以被烷基取代的、碳原子数6~20的苯基,碳原子数2~20的烷酰基,苯环中的氢原子可以被烷基取代的、碳原子数7~20的苯甲酰基,碳原子数2~12的烷氧基羰基,或苯环中的氢原子可以被烷基取代的、碳原子数7~20的苯氧基羰基。
5.根据权利要求4所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述光聚合引发剂(C)的总量中的所述式(1)所示的化合物的含有比率为85~95质量%,所述负型感光性树脂组合物的总固体成分量中的所述光聚合引发剂(C)的含有比率为3.5~7质量%。
6.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物,其还包含交联剂(D),该交联剂(D)为1分子中具有两个以上烯属双键且不具有酸性基团的化合物。
7.根据权利要求1或2所述的负型感光性树脂组合物,其还包含拒墨剂(E)。
8.根据权利要求7所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述拒墨剂(E)为在1分子中具有如下侧链的拒墨剂(E):具有下式(3)所示基团或下式(4)所示基团的侧链、以及具有烯属双键的侧链,
-CFXRf (3)
式(3)中,X表示氢原子、氟原子或三氟甲基,Rf表示可以具有醚性氧原子的、碳原子数1~20的氟烷基,或氟原子,
-(SiR10R11O)n-SiR12R13R14 (4)
式(4)中,R10、R11、R12以及R13各自独立地表示氢原子、烷基、环烷基或芳基,R14表示氢原子或碳原子数1~10的、可以包含醚性氧原子或氮原子的烷基,n表示1~200的整数。
9.根据权利要求7所述的负型感光性树脂组合物,其中,所述拒墨剂(E)是在侧链具有基团(3)且主链为有机聚硅氧烷链的化合物,
-CFXRf (3)
式(3)中,X表示氢原子、氟原子或三氟甲基,Rf表示可以具有醚性氧原子的、碳原子数1~20的氟烷基,或氟原子。
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