[发明专利]利用空间变化的电荷分布确定间距

权利要求书

1.一种半导体裸片，包括：

驱动器；及

电耦合到驱动器的空间对准换能器，其中该空间对准换能器靠近半导体裸片的表面，并且其中驱动器配置为在空间对准换能器中的至少一个方向建立空间变化的电荷分布，由此方便该半导体裸片的表面与另一个半导体裸片的表面之间垂直间距的确定。

2.如权利要求1所述的半导体裸片，其中驱动器配置为在空间对准换能器中的两个方向建立空间变化的电荷分布。

3.如权利要求1所述的半导体裸片，其中空间对准换能器包括信号线阵列；并且

其中驱动器配置为向该信号线阵列提供具有公共时间频率和不同相位的电信号，由此建立空间变化的电荷分布。

4.如权利要求1所述的半导体裸片，其中半导体裸片还包括靠近该半导体裸片的表面的空间对准传感器，该空间对准传感器配置为检测与另一个空间变化的电荷分布相关联的电场，其中该另一个空间变化的电荷分布是由靠近另一个半导体裸片的表面的另一个空间对准换能器建立的，由此方便该半导体裸片和另一半导体裸片之间垂直间距的确定。

5.如权利要求4所述的半导体裸片，其中空间对准传感器包括信号线阵列。

6.如权利要求1所述的半导体裸片，其中驱动器配置为在一时间间隔期间提供电信号的时间序列；

其中该序列中的每个电信号都具有持续时间；并且

其中该序列中的给定的电信号具有不同于与其它电信号相关联的时间频率的时间频率。

7.如权利要求6所述的半导体裸片，其中驱动器配置为在该时间间隔期间顺序地增加时间频率。

8.如权利要求7所述的半导体裸片，其中驱动器配置为在该时间间隔期间利用离散的频率增量顺序增加时间频率。

9.一种系统，包括：

第一半导体裸片，其中该第一半导体裸片包括：

驱动器；及

电耦合到驱动器的空间对准换能器，其中该空间对准换能器靠近第一半导体裸片的表面，并且其中驱动器配置为在空间对准换能器中的至少一个方向建立空间变化的电荷分布；及

第二半导体裸片，其中该第二半导体裸片包括靠近该第二半导体裸片的表面的空间对准传感器，其中该空间对准传感器配置为检测与空间变化的电荷分布相关联的电场，由此方便第一半导体裸片的表面和第二半导体裸片的表面之间垂直间距的确定。

10.如权利要求9所述的系统，其中驱动器配置为在空间对准换能器中的两个方向建立空间变化的电荷分布。

11.如权利要求9所述的系统，其中空间对准换能器包括信号线阵列；及

其中驱动器配置为向该信号线阵列提供具有公共时间频率和不同相位的电信号，由此建立空间变化的电荷分布。

12.如权利要求9所述的系统，其中空间对准传感器包括信号线阵列。

13.如权利要求9所述的系统，其中驱动器配置为在一时间间隔期间提供电信号的时间序列；

其中该序列中的每个电信号都具有持续时间；并且

其中该序列中的给定的电信号具有不同于与其它电信号相关联的时间频率的时间频率。

14.如权利要求13所述的系统，其中驱动器配置为在该时间间隔期间顺序地增加时间频率。

15.如权利要求14所述的系统，其中驱动器配置为在该时间间隔期间利用离散的频率增量顺序增加时间频率。

16.一种用于确定第一半导体裸片的表面和第二半导体裸片的表面之间的垂直间距的方法，包括：

在空间对准换能器中的至少一个方向建立空间变化的电荷分布，其中空间对准换能器靠近第一半导体裸片的表面；及

利用靠近另一个半导体裸片的表面的空间对准传感器检测与空间变化的电荷分布相关联的电场，由此方便第一半导体裸片的表面和第二半导体裸片的表面之间垂直间距的确定。

17.如权利要求16所述的方法，其中空间变化的电荷分布是在空间对准换能器中的两个方向建立的。

18.如权利要求16所述的方法，其中空间对准换能器包括信号线阵列；并且

其中建立空间变化的电荷分布涉及向该信号线阵列提供具有公共时间频率和不同相位的电信号。