[发明专利]借助微探针分析辐照材料的分析装置

权利要求书

1.借助微探针(14)分析材料的分析装置(10)，其特征在于，所述分析装置具有：

-主包壳体(11)，其配有辅助包壳体(15)；

-微探针(14)，其布置在主包壳体中并配有物件运动件(20，22)；

-减压室(26)，其布置在主包壳体中并连接至微探针和辅助包壳体；

-样品活动支承件(28)，其从辅助包壳体至减压室以及从减压室至物件运动件是能移动的；

并且，减压室和物件运动件每个都具有一个用于在样品活动支承件移动时引导该样品活动支承件的样品活动支承件的导向构件(57，59)，以及一个检测样品活动支承件出现的检测部件(60)。

2.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，物件运动件具有止动件(61)，用于使样品活动支承件保持在分析位置。

3.根据权利要求1或2所述的分析装置，其特征在于，所述分析装置具有滑动控制柄(42)，用于使样品活动支承件从减压室移动至物件运动件，反之从物件运动件至减压室移动。

4.根据权利要求3所述的分析装置，其特征在于，样品活动支承件和滑动控制柄相应地具有互补的两个连接构件(39至41)，互补的两个连接构件设置用于彼此接合以确保滑动控制柄和样品活动支承件之间的机械连接。

5.根据权利要求4所述的分析装置，其特征在于，所述分析装置具有锁紧部件，锁紧部件允许两个连接构件在样品活动支承件在物件运动件上的位置即分析位置中以及在样品活动支承件在减压室内的位置即传送位置中彼此分离，而对于样品活动支承件在分析位置和传送位置之间的所有中间位置，锁紧部件阻止这种分离。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的分析装置，其特征在于，所述分析装置具有对齐部件，用于在物件运动件的驱动电机(23)发生供电故障时，使减压室的导向构件(57)和物件运动件的导向构件(59)对齐。

7.根据权利要求6所述的分析装置，其特征在于，对于物件运动件的每条移动轴线，对齐部件具有一个驱动构件(50)，驱动构件与用于沿该条移动轴线驱动物件运动件的蜗杆(24)接合，通过穿过主包壳体的壁(13)的操纵构件(46)能致动该驱动构件。

8.根据权利要求6或7所述的分析装置，其特征在于，对于物件运动件的每条轴线，对齐部件具有一个位置传感器和一个显示器，所述位置传感器对物件运动件沿该条轴线的位置敏感，所述显示器连接于该位置传感器，用于在主包壳体的外部可视地显示物件运动件沿该条轴线的位置。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的分析装置，其特征在于，导向构件中的至少一个具有一轨道段(35，36，57至59)，样品活动支承件能在轨道段上或挨靠轨道段滑行、滑动或滚动。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的分析装置，其特征在于，样品活动支承件配有使其易于在导向构件上或沿导向构件移动的滑块和/或轮子(31)。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的分析装置，其特征在于，减压室的一壁体(65)是透明的。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的分析装置，其特征在于，样品活动支承件具有可视标志(38)。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的分析装置，其特征在于，所述分析装置具有中空结构件(69)，中空结构件使减压室连接至辅助包壳体，样品活动支承件能在中空结构件内移动，以允许该样品活动支承件从辅助包壳体传送至减压室，反之从减压室传送至辅助包壳体。

14.根据权利要求13所述的分析装置，其特征在于，中空结构件(69)包括具有小的机械刚度的密封防尘的套，用于限制辅助包壳体的振动传递到减压室，该中空结构件能主要由塑料制成的环纹形管状套构成，特别是由呈波纹套形状的套构成。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的分析装置，其特征在于，主包壳体由屏蔽壁(12，13)限定。

16.根据权利要求1至15中任一项所述的分析装置，其特征在于，辅助包壳体是相对于主包壳体保持负压的手套式操作箱。