[发明专利]物理量传感器装置的输出值修正方法、物理量传感器的输出值修正方法、物理量传感器装置以及物理量传感器的输出值修正装置

说明书

技术领域

本发明涉及物理量传感器装置的输出值修正方法、物理量传感器的输出值修正方法、物理量传感器装置以及物理量传感器的输出值修正装置。

背景技术

以往以来，作为物理量传感器装置例如有如下的公知的物理量传感器装置，该物理量传感器装置例如通过A/D转换器(ADC：Analog-to-Digital Converter：数模转换器)将从物理量传感器元件输出的模拟信号转换成数字信号，并进行使用了CPU(Central Processing Unit：中央处理器)或DSP(Digital Signal Processor：数字信号处理器)等运算电路的运算处理，从而对物理量传感器元件的输出特性进行修正。

作为这样的物理量传感器装置，提出有如下的装置，该装置设有：模拟输入部，该模拟输入部将从控制对象输入的模拟输入信号转换成数字信号并进行输出；温度检测器，该温度检测器检测出装置周围的周围温度；温度修正表，该温度修正表中保存有将周围温度与修正值一一对应的修正数据，该修正数据是在温度不同的条件下，基于与所述数字信号的数字值和模拟输入信号的期待值之间的误差的实际测定而生成的；以及温度修正单元，该温度修正单元从温度修正表读出与温度检测器所检测出的温度相对应的修正值，利用所述修正值对从模拟输入电路读入的数字值进行修正，以作为最终的数字数据(例如参照下述专利文献1)。

另外，作为其它装置还提出了如下的装置，该装置通过第1A/D转换器将根据被测定压力而变化的来自半导体压力转换器的模拟信号依次转换成数字的未补偿压力数据，并通过第2A/D转换器将从感温元件输出的根据被测定温度而变化的模拟信号依次转换成数字的未补偿温度数据，在将这些数据提供至运算装置的情况下，从存储装置读取出存储在存储装置中的动作压力范围及温度范围之中的至少2个以上的基准温度下的补偿用温度数据、以及在各基准温度下2个以上的基准压力下的补偿用压力数据，并通过插值法从该读取出的数据中求出补偿后压力数据(例如参照下述专利文献2)。

另外，作为其它装置还提出了如下的装置，该装置包括压力传感器电路，该压力传感器电路生成与被检测压力相应的电压电平的检测信号；温度检测电路，该温度检测电路生成与该压力传感器电路的温度相应的电压电平的温度信号；基准电压生成电路，该基准电压生成电路在与所述被检测压力及压力传感器电路的温度无关的情况下生成具有规定的电压电平的基准信号；A/D转换电路，该A/D转换电路用于将所述检测信号、温度信号及基准信号转换成数字数据；模拟多路转换器，该模拟多路转换器有选择地使所述检测信号、温度信号及基准信号通过，并作为转换对象信号来供给所述A/D转换电路；信号处理单元，该信号处理单元将对于所述压力传感器电路的施加压力设为P，将利用所述A/D转换电路对所述检测信号、温度信号及基准信号进行转换后得到的各数字数据分别设为压力信息D、温度信息T及基准信息A，且将压力传感器电路的灵敏度的温度系数设为c，将压力传感器电路的室温灵敏度设为d，将压力检测值的偏移的温度系数设为e，将压力检测值的室温偏移值设为f，将温度检测值的温度系数设为a，将温度检测值的室温偏移值设为f，在此情况下，进行Ｐ＝{(Ｔ/Ａ－ｂ)×(－ｅ/ａ)+Ｄ/Ａ－ｆ}/{(Ｔ/Ａ－ｂ)×ｃ/ａ+ｄ}这样的运算处理，从而计算出施加压力P，所述模拟多路转换器构成为使所述基准信号及温度信号在所述检测信号之前通过，所述信号处理单元在根据与所述基准信号及温度信号相应的基准信息A及温度信息T来进行运算处理之后，根据该运算处理结果及与所述检测信号相应的压力信息D来进行运算处理，由此计算出施加压力P。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2009-260626号公报

专利文献2：日本专利特开平6-265424号公报

专利文献3：日本专利特开平10-339673号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在上述专利文献1所示的技术中存在如下问题：将用于对物理量传感器元件的任意检测点产生的电信号的输出值进行修正的修正量作为用于对某一特定的检测范围内产生的电信号的输出值进行修正的修正量，来对每个特定的检测范围实现数据表格化，并将修正量存储至存储部中。因此，以一定的修正量对在物理量传感器元件的某一特定检测范围产生的所有电信号的输出值进行修正，会导致修正精度下降。