[发明专利]用于保护玻璃板的气相沉积方法

权利要求书

1.一种在拉制工艺中使用气相沉积对玻璃带的表面进行涂敷的方法，所述方法包括：

形成处于粘弹性状态下的玻璃带；

拉制在粘弹性状态下的玻璃带；

将所述粘弹性状态下的玻璃带冷却至弹性状态；

将所述玻璃带引入反应器的开口端，所述反应器包括多个通道，其中至少第一通道引导第一反应剂气体，至少第二通道引导第二反应剂气体，并且至少第三通道引导惰性气体流或抽真空；

将所述第一反应剂气体从所述第一通道引导到所述反应器内的玻璃带上；

将所述第二反应剂气体从所述第二通道引导到所述反应器内的玻璃带上；

通过在位于所述玻璃带两侧的相反的气体流之间平衡所述玻璃带，控制所述玻璃带在所述反应器中的位置；以及

通过来自所述反应器内的第三通道的惰性气体流，或通过所述反应器内的第三通道抽走过量的反应剂，将所述过量的反应剂从所述玻璃带清洗掉。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：在所述玻璃带的表面上形成氧化物涂层，所述氧化物涂层从包括Al₂O₃、SnO₂和ZrO₂的组中选取。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一反应剂气体是TMAl。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二反应剂气体是水。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括如下步骤：提供一反应器，所述反应器具有其宽度等于所述玻璃带的宽度的可拆卸部分。

6.如权利要求1-5中任一项所述的方法，其特征在于，还包括：当所述玻璃带在所述反应器中时，避免所述玻璃带的表面与任何固体对象接触。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，包括通过惰性气体流将过量的反应剂从玻璃带清洗掉的步骤以及通过抽走过量的反应剂而清洗掉过量的反应剂的步骤这两者。

8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，形成处于粘弹性状态下的玻璃带的步骤包括：采用熔化拉制。