[发明专利]用于热电应用的纳米颗粒压实体材料无效
申请号: | 201280057083.7 | 申请日: | 2012-11-21 |
公开(公告)号: | CN104335327A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | R·文卡塔苏伯拉玛尼安;J·斯图尔特;R·维塔拉;P·汤姆斯;C·C·科克;T·E·千 | 申请(专利权)人: | 研究三角协会;北卡罗来纳州立大学 |
主分类号: | H01L21/18 | 分类号: | H01L21/18 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李跃龙 |
地址: | 美国北*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 热电 应用 纳米 颗粒 实体 材料 | ||
1.热电复合物,包含:
半导体材料,其由用来产生半导体材料的纳米颗粒的半导体材料的单质成分的机械合金化粉末形成,且将其压实以具有至少一种分歧的晶粒组织;且
所述分歧的晶粒组织具有至少两种不同的晶粒尺寸,包括2~200nm的小尺寸晶粒和0.5~5微米的大尺寸晶粒。
2.如权利要求1的复合物,其中半导体材料具有品质因数ZT,其定义为塞贝克系数的平方S2和电导率σ的乘积除以热导率k的比,其为在300K下大于1至在300~500K的温度下的2.5。
3.如权利要求1的复合物,其中该半导体材料包含纳米尺寸散射位置,其包括纳米空隙、夹杂物、析出物、和晶界的至少一种。
4.如权利要求1的复合物,其中半导体材料包含具有小于10nm的尺度的纳米尺寸散射位置。
5.如权利要求1的复合物,其中该半导体材料包含具有小于5nm的尺度的纳米尺寸散射位置。
6.如权利要求1的复合物,其中机械合金化的粉末包含在晶粒的晶界处具有最小氧化的粉末。
7.如权利要求6的复合物,其中在具有小于1ppm的氧的气氛中形成和压实该机械合金化的粉末。
8.如权利要求6的复合物,其中在具有小于1ppm的氧的纯氩气氛中形成和压实该机械合金化的粉末。
9.如权利要求1的复合物,其中在大于900MPa的压力下压实该半导体材料。
10.如权利要求1的复合物,其中在1~10GPa的压力下压实该半导体材料。
11.如权利要求10的复合物,其中在350~450℃的温度下压实该半导体材料,持续小于15分钟的持续期以降低晶粒生长。
12.如权利要求10的复合物,其中在415℃的温度下压实该半导体材料,持续小于15分钟的持续期以降低晶粒生长。
13.如权利要求1的复合物,其中小尺寸晶粒具有2~50nm的晶粒尺寸。
14.如权利要求1的复合物,其中所述压实体包含n型Bi2Te3-xSex和p型Bi2Te3-xSex的至少一种。
15.如权利要求14的复合物,其中x为0.1~0.9。
16.如权利要求14的复合物,其中x为0.2~0.5。
17.如权利要求14的复合物,其中x为0.25~0.35。
18.如权利要求1的复合物,其中所述压实体包含SiGe、PbTe、PbTeSe、PbTeGeTe、PbTeGeSbTe、和由Zr、Hf、Co、Sn、Sb和Ni制成的半霍斯勒化合物的至少一种。
19.如权利要求1的复合物,其中所述半导体材料具有ZT,其定义为塞贝克系数的平方S2和电导率σ的乘积除以热导率k的比,对于该n型和p型材料的半导体材料,在300~500K下大于1.0。
20.如权利要求1的复合物,其中所述半导体材料包含n型Bi2Te3-xSex,且具有以下性质的至少一种:
1.09~1.25/℃的电阻率的对数斜率;
在125℃下225~325μV/K的塞贝克系数;
在125℃下1.1~1.6W/m-K的热导率;和
在125℃下45~100微W/cm-K2的功率因数。
21.如权利要求1的复合物,其中所述半导体材料包含p型Bi2Te3-xSex,且具有以下性质的至少一种:
1.75~2.27/℃的电阻率的对数斜率;
在125℃下250~325μV/K的塞贝克系数;
在125℃下1.0~1.35W/m-K的热导率;和
在125℃下40~100微W/cm-K2的功率因数。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造