[发明专利]通过将二氧化硅灰料体由蒸汽相沉积在基底上制造合成石英玻璃的方法

权利要求书

1.制造合成石英玻璃的方法，其包括方法步骤：

(a) 提供液体SiO₂-原料(105)，其含有八甲基环四硅氧烷D4作为主要组分，

(b) 将所述SiO₂-原料(105)汽化成原料蒸气(107)，

(c) 将所述原料蒸气转化成SiO₂颗粒(148)，

(d) 使所述SiO₂颗粒(148)沉积在沉积面(160)上，形成多孔SiO₂灰料体(200)，

(e) 使所述SiO₂灰料体(200)玻璃化，形成合成石英玻璃，

其特征在于，液体原料(105)含有附加组分，包括重量比例为mD3的六甲基环三硅氧烷D3及其线性同系物、重量比例为mD6的十甲基环六硅氧烷D6及其线性同系物和重量比例为mD7+的十四甲基环七硅氧烷D7和/或十六甲基环八硅氧烷D8及其线性同系物，其中重量比mD3/mD6在0.5至500的范围，且重量比例mD7+为至少20重量-ppm。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，比率mD3/mD6在1至200的范围。

3.根据权利要求1或2的方法，其特征在于，重量比例mD7+在30至100重量-ppm的范围。

4.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，重量比例mD3 + mD6之和在200至20,000重量-ppm，优选500至15,000重量-ppm的范围。

5.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，mD3在200重量-ppm至15,000重量-ppm，且mD6为50重量-ppm至2,000重量-ppm的范围。

6.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，重量比mD3/(mD6 + mD7+)在0.3至150的范围，优选在0.5至100的范围。

7.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，所述汽化包括下述步骤：

·加热液体SiO₂-原料(105)，

·将加热的SiO₂-原料(105)引入膨胀室(125)中，以使至少第一部分的SiO₂-原料(105)因压降而汽化，

·将SiO₂-原料(105)与加热的稀释剂(152)混合，以使至少第二部分的SiO₂-原料(105)因露点下降而汽化。

8.根据权利要求7的方法，其特征在于，所述将加热的SiO₂-原料(105)引入膨胀室(125)中包括注射阶段，其中将液体形式的SiO₂-原料(105)雾化成微滴，其中所述微滴具有小于5微米，优选小于2微米的平均直径。

9.根据权利要求7或8的方法，其特征在于，所述微滴与热载气(152)的接触在保持在150℃至230℃范围的温度的室(125)中进行。

10.根据权利要求7至9任一项的方法，其特征在于，在将SiO₂-原料(105)引入膨胀室(125)中的过程中，借助浓度检测器测量SiO₂-原料的组成。

11.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，根据方法步骤(a)提供液体SiO₂-原料(105)包括：

·提供聚烷基硅氧烷的第一混合物，其中D3、D4、D5、D6及其线性同系物占至少99.99重量%，

·提供聚烷基硅氧烷的第二混合物，其中D7占至少40重量%，优选至少80重量%，特别优选至少90重量%的比例，

·在根据方法步骤(b)汽化之前或之中，由聚烷基硅氧烷的第一和第二混合物以使mD7+的重量比例为总混合物的至少20重量-ppm的混合比制造掺合物。

12.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，通过将原料蒸气(107)供应至布置成燃烧器排(141)的沿沉积面(160)共同可逆往复运动的多个沉积燃烧器(140)中，进行根据方法步骤(b)的SiO₂颗粒在沉积面(160)上的沉积。

13.根据前述权利要求的至少一项制成的合成石英玻璃用于制造光纤的用途。