[发明专利]通过由蒸汽相沉积和借助液体硅氧烷原料制造合成石英玻璃的方法

权利要求书

1.制造合成石英玻璃的方法，其包括方法步骤：

(A) 提供液体SiO₂原料(105)，其具有多于70重量%的聚烷基硅氧烷D4，

(B) 将SiO₂原料(105)汽化成气态SiO₂原料蒸气(107)，

(C) 将SiO₂原料蒸气(107)转化成SiO₂颗粒，

(D) 使所述SiO₂颗粒沉积在沉积面(160)上，形成SiO₂灰料体(200)，

(E) 使SiO₂灰料体玻璃化，形成合成石英玻璃，

其特征在于，

所述加热的SiO₂原料(105)的汽化包括在膨胀室(125)中的注射阶段，在其中将SiO₂原料(105)雾化成微滴，其中所述微滴具有小于5微米，优选小于2微米的平均直径。

2.根前述权利要求至少一项的方法，其特征在于，液体SiO₂原料(105)具有多于95重量%，特别是多于99.5重量%的聚烷基硅氧烷D4。

3.根据前述权利要求至少一项的方法，其特征在于，所述汽化包括步骤：

·加热SiO₂原料(105)，

·将加热的SiO₂原料(105)引入膨胀室(125)中，以使至少第一部分的SiO₂原料(105)因压降而汽化。

4.根据前述权利要求至少一项的方法，其特征在于，所述汽化包括步骤：

·加热SiO₂原料(105)，

·将加热的SiO₂原料(105)引入膨胀室(125)中，

·将SiO₂原料(105)与加热的稀释剂(152)混合，以使至少第二部分的SiO₂原料(105)因露点下降而汽化。

5.根据权利要求3或4任一项的方法，其特征在于，由于压降和/或分压降低，至少99.995重量%，优选99.9995重量%的SiO₂原料(105)转化成SiO₂原料蒸气(107)。

6.根据前述权利要求的至少一项制成的合成石英玻璃用于制造光纤的用途。