[发明专利]光伏电池中I-III-VI2层和背接触层之间的改良界面

权利要求书

1.用于制作具有光伏特性的I-III-VI₂层的方法，包括：

-将金属沉积在衬底上以形成接触层，

-将I-III-VI₂层的前体沉积在接触层上，以及

-前体的热处理中加入元素VI以形成I-III-VI₂层，

金属沉积包括一个步骤，在该步骤中，添加元素被添加到金属中以在接触层上形成化合物，所述化合物作为元素VI扩散的阻挡物，

所述方法还包括在接触层上沉积钼牺牲层，所述钼牺牲层的沉积发生在沉积前体之前，在热处理过程中所述牺牲层和元素VI进行反应，从而在接触层上形成表面层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤之后是无所述添加元素的金属沉积。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤终止了接触层的沉积。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述步骤之前是无所述添加元素的所述金属的沉积。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，通过溅射含有所述金属的靶材沉积金属，在所述步骤中溅射通过含有所述添加元素的等离子体协助。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，在所述步骤期间通过溅射含有金属以及添加元素的靶材而沉积金属。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，金属为钼。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，添加元素为以下元素中的至少一种元素：

-氮，以形成作为元素VI的阻挡材料的氮化物，

-氧，以形成作为元素VI的阻挡材料的氧化物，以及

-金属以形成作为元素VI的阻挡材料的合金。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，元素VI为硒。

10.光伏电池包括：

-含有元素I，III以及VI的合金层，所述合金层具有光伏特性，以及

-接触层，其位于合金层之下，

所述接触层由金属形成且包括由所述金属和添加元素形成的化合物，所述化合物作为元素VI扩散的阻挡物，

合金层和接触层之间的表面层，所述表面层包括金属-元素VI的化合物，由沉积在接触层上的钼牺牲层形成，所述钼牺牲层在沉积合金层的前体之前已经沉积在所述接触层上，在热处理过程中所述钼牺牲层和元素VI进行反应以形成表面层，

其特征在于，在金属-元素VI化合物层的下，所述电池还包括一个含有添加元素同所述金属形成化合物的层，该层用以阻挡元素VI。