[发明专利]CO2激光装置及CO2激光加工装置

权利要求书

1.一种CO₂激光装置，其具有：

CO₂激光介质；

光共振器，所述CO₂激光介质置于该光共振器中；

光开关，其设置在所述光共振器内；以及

传输反射镜，其对从所述光共振器向所述光共振器的外部射出的激光进行反射，

该CO₂激光装置的特征在于，

所述光共振器由近同心的稳定型光共振器构成，

将构成所述光共振器的至少1个共振器反射镜的曲率半径设定为与从所述光开关至所述共振器反射镜为止的距离相等，

所述传输反射镜设置为使所述激光再次通过所述CO₂激光介质。

2.根据权利要求1所述的CO₂激光装置，其特征在于，

所述传输反射镜由多个传输反射镜构成，该多个传输反射镜以所述CO₂激光介质的不同位置依次存在于它们之间的方式而相对配置。

3.根据权利要求1或2所述的CO₂激光装置，其特征在于，

所述光开关由声光元件构成。

4.根据权利要求1或2所述的CO₂激光装置，其特征在于，

所述光开关由电光元件构成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的CO₂激光装置，其特征在于，

在所述光共振器中具有赋予直线偏振的布儒斯特板或反射镜。

6.一种CO₂激光加工装置，其利用了权利要求1至5中任一项所述的CO₂激光装置。

7.根据权利要求6所述的CO₂激光加工装置，其特征在于，

具有：

光阑，其使从所述CO₂激光装置射出的激光通过并对该激光进行整形；以及

传输光学系统，其将所述激光作为激光束而引导至被加工物，

所述光阑设置在与所述CO₂激光装置内的光共振器中由所述激光的重复频率引起的光束直径变动最小的点共轭的点上。