[发明专利]反射器阵列光学装置及其制造方法

权利要求书

1.一种使位于一个主面侧的被观察物的实像形成到另一主面侧的空间中的反射器阵列光学装置，包括

被并排地布置在同一平面上的多个二面角反射器阵列光学元件，所述多个二面角反射器阵列光学元件中的每一个都包括：基板；以及多个二面角反射器，每个二面角反射器都具有至少两个正交侧面，所述正交侧面与所述基板的主表面垂直并且彼此正交，并且所述多个二面角反射器与所述基板形成为一体，使得所述正交侧面的内角的朝向彼此对齐，其中

所述多个二面角反射器阵列光学元件被配置为，所述基板的端面被接合在一起，使得所述多个二面角反射器的所述正交侧面的交线与所述基板的法线平行。

2.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，其中，所述多个二面角反射器阵列光学元件中的彼此相邻的二面角反射器阵列光学元件被布置为使得所述多个二面角反射器的所述正交侧面的内角的朝向彼此对齐。

3.根据权利要求2所述的反射器阵列光学装置，其中，所述多个二面角反射器按照相同的间距排列成矩阵状，并且所述多个二面角反射器阵列光学元件中的彼此相邻的二面角反射器阵列光学元件被布置为使得所述多个二面角反射器的所述正交侧面彼此平行地对齐。

4.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，其中，所述多个二面角反射器阵列光学元件中的每一个都由透明材料制成，并且所述多个二面角反射器中的每一个都是具有从所述基板凸出的棱柱形状的突出部。

5.根据权利要求4所述的反射器阵列光学装置，其中，所述棱柱形状具有与所述正交侧面的交线相对并且从所述基板的法线倾斜的侧面，并且是具有与所述基板一体的底面并具有比所述底面的面积更小的面积的顶面的截棱锥形状。

6.根据权利要求5所述的反射器阵列光学装置，其中，从所述基板的法线倾斜的所述侧面具有大于等于5度并且小于等于25度的倾角。

7.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，其中，所述多个二面角反射器中的每一个都被形成为棱柱形状的孔，所述孔穿透所述基板并且其内壁的一部分是镜面而作为所述正交侧面。

8.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，其中，所述基板具有与所述正交侧面中的一个侧面平行的端面。

9.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，其中，所述基板具有以大于0度并且小于45度的角度与所述正交侧面中的一个侧面相交的平坦端面。

10.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，其中，所述基板具有以45度的角度与所述正交侧面中的一个侧面相交的平坦端面。

11.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，其中，所述基板的所述端面被磨成镜面。

12.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，其中，光学粘合剂被仅填充在所述基板的所述端面之间。

13.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，该反射器阵列光学装置包括被重叠在所述基板的所述主表面上的透明平板。

14.根据权利要求1所述的反射器阵列光学装置，其中，所述基板的彼此接合的所述端面相对于设置有所述多个二面角反射器阵列的所述主平面倾斜。

15.一种反射器阵列光学装置的制造方法，所述反射器阵列光学装置使位于一个主面侧的被观察物的实像形成到另一主面侧的空间中，所述方法包括以下步骤：

形成至少两个二面角反射器阵列光学元件，所述二面角反射器阵列光学元件包括：基板；以及多个二面角反射器，每个二面角反射器都具有至少两个正交侧面，所述正交侧面与所述基板的主表面垂直并且彼此正交，并且所述多个二面角反射器与所述基板形成为一体，使得所述正交侧面的内角的朝向彼此对齐；

用掩模材料覆盖与所述两个二面角反射器阵列光学元件各自的待粘接的基板的端面相邻的所述基板的主面部分的所述多个二面角反射器；

把粘合剂供应到待粘接的所述基板的端面之间，在把所述粘合剂的一部分从所述基板的端面之间挤出到所述掩模材料的表面的同时，将所述两个二面角反射器阵列光学元件接合在一起；以及

将所述掩模材料与所述粘合剂的一部分一起从所述基板的主表面上的所述多个二面角反射器去除。