[发明专利]信息记录介质用玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法，具有如下工序：

进行玻璃基板的研磨；

在进行了所述玻璃基板的研磨之后，进行所述玻璃基板的清洗，

进行所述玻璃基板的清洗的工序包含如下工序：

在槽内表面是由不锈钢或树脂构成的多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗；

在槽内表面是由石英构成的第2槽中进行所述玻璃基板的清洗，

在所述多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗的工序包含至少1次超声波清洗，

在所述多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗的工序完成之后，进行在所述第2槽中清洗所述玻璃基板的工序。

2.根据权利要求1所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

进行所述玻璃基板的清洗的工序包含如下工序：在进行在所述第2槽中清洗所述玻璃基板的工序之前，对所述玻璃基板进行擦洗。

3.根据权利要求1或2所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

在所述第2槽中清洗所述玻璃基板的工序包含如下工序：对所述玻璃基板施加900kHz以上的频率的超声波。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

在所述多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗的工序包含如下工序：对所述玻璃基板施加78kHz以上且500kHz以下的频率的超声波。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

在所述第2槽中清洗所述玻璃基板的工序包含如下工序：对所述玻璃基板施加第1频率的超声波，

在所述多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗的工序包含如下工序：对所述玻璃基板施加比所述第1频率低的第2频率的超声波。