[发明专利]被测量物特性测量装置

权利要求书

1.一种被测量物特性测量装置，其特征在于，具备弹性表面波元件，所述弹性表明波元件具备：

梳形电极，其形成于压电基板上的第一面，激励弹性波，并接收基于所述弹性波的反射；

反射部，其具有第三面和第四面，所述第三面形成在所述梳形电极和与所述弹性波的传播方向上的所述压电基板的所述第一面正交的第二面之间、在所述第一面的法线方向上与所述第一面不同的位置，所述第四面在所述第一面的法线方向上垂直地形成，并连结所述第一面的端部和所述第三面；

反应场，其形成于所述梳形电极和所述反射部之间并负荷被测量物；以及

传播部，其形成于所述反射部和所述第二面之间，

所述被测量物特性测量装置将从所述梳形电极在所述反应场传播、由所述反射部的所述第四面反射、并由所述梳形电极接收的所述弹性波中所含有的在所述压电基板的表面传播的弹性表面波从由所述压电基板的所述第二面反射、并由所述梳形电极接收的所述弹性波中所含有的在所述压电基板的内部传播的体波中分离并提取出，基于提取出的所述弹性表面波求出所述被测量物的特性。

2.根据权利要求1所述的被测量物特性测量装置，其特征在于，

从所述压电基板的所述表面向所述压电基板的内部的方向上的所述反射部所具有的壁的高度d是满足下式的关系的值：

λ/2≦d≦H/2

λ：所述弹性波的波长

H：所述压电基板的厚度。

3.根据权利要求1或2所述的被测量物特性测量装置，其特征在于，

所述梳形电极具备N(N为1以上的整数)对多个电极指，

从所述反射部的所述第四面到所述压电基板的所述端部为止的距离L2是满足下式的关系的值：

L2≧N×λ/2

λ：所述弹性波的波长

N：构成所述梳形电极的多个电极指的对数。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的被测量物特性测量装置，其特征在于，

所述反射部具有的所述第三面相对所述压电基板的所述第一面平行。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的被测量物特性测量装置，其特征在于，

所述反射部具有的所述第三面的至少一部分是曲面。

6.根据权利要求1至3、5中任一项所述的被测量物特性测量装置，其特征在于，

所述反射部具有的所述第三面的至少一部分是相对所述压电基板的所述第一面的法线方向倾斜规定角度而形成的斜面。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的被测量物特性测量装置，其特征在于，

在所述反射部，在不从所述压电基板的所述第一面突出的范围内填充树脂。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的被测量物特性测量装置，其特征在于，

在所述压电基板上，沿相对所述弹性波的传播方向垂直的方向形成多个所述梳形电极，并在各所述梳形电极和所述反射部的所述第三面之间，形成与所述各梳形电极对应的多个所述反应场。