[发明专利]均匀的HIPIMS涂敷方法

权利要求书

1.用于从气相借助溅射在抽成真空的涂敷室内进行物理涂敷的方法，尤其借助HIPIMS，所述方法包括如下步骤：

a)提供发电机，其具有预先规定的优选至少在接通后和在经过一个功率建立区间后恒定的功率输出，

b)接通该发电机，

c)把第一分阴极连接在该发电机上，使得该第一分阴极加载有发电机的功率，

d)在经过预先规定的、与第一分阴极对应的第一功率脉冲区间后使发电机与第一分阴极分开，

e)把第二分阴极连接在发电机上，使得该第二分阴极加载有发电机的功率，

f)在经过预先规定的、与第二分阴极对应的第二功率脉冲区间后使发电机与第二分阴极分开；

其特征在于，一个功率脉冲区间的长度如此适应另一个功率脉冲区间的长度，使得由所述涂敷产生的层在所述涂敷室的高度上具有预先规定的层厚度分布。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，选择均匀的层厚度分布来作为预先规定的层厚度分布。

3.根据权利要求1和2之一所述的方法，其特征在于，第一功率脉冲区间在时间上在第二功率脉冲区间之前开始并且第一功率脉冲区间在时间上在第二功率脉冲区间之前结束，并且其中步骤d)和e)如此执行，使得第一功率脉冲区间和第二功率脉冲区间在时间上重叠并且所有功率脉冲区间一起构成第一组，使得发电机的功率输出连续不间断地从第一功率脉冲区间开始起直到第二功率脉冲区间结束止保持不变并且不发生第二功率建立区间。

4.根据上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，使用多于两个分阴极并且步骤c)到f)类似地在它们之上应用。

5.根据上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，至少功率脉冲区间的相对长度借助所述涂敷之前的校准涂敷确定。