[发明专利]外观检查设备和外观检查方法

权利要求书

1.一种外观检查设备，包括：

第一投光部件，用于将波长彼此不同的三种光中的具有中间波长的狭缝光照射至被检体表面上；

第一摄像部件，用于通过接收所述狭缝光的反射光，来获取被检体表面的反射亮度数据；

第二投光部件，用于将除所述中间波长以外的波长不同的两个光从不同方向以彼此重叠的方式照射至被检体表面上的与所述狭缝光所照射的位置不同的位置；

第二摄像部件，用于通过接收来自所述两个光彼此重叠的部分的反射光，来获取被检体表面的表面数据；

凹凸缺陷检测部件，用于根据所述表面数据中所包含的所述两个光的强度之间的比率，来检测被检体表面的凹凸的有无；

颜色异常缺陷检测部件，用于通过将所述反射亮度数据和所述表面数据进行合成，来检测被检体表面的色调的变化；以及

光泽缺陷检测部件，用于基于所述凹凸的有无和所述色调的变化，来检测被检体表面的光泽。

2.根据权利要求1所述的外观检查设备，其中，具有所述中间波长的所述狭缝光是相对于被检体表面而倾斜照射的。

3.根据权利要求1或2所述的外观检查设备，其中，具有所述中间波长的所述狭缝光是由多个所述第一投光部件形成的。

4.一种外观检查方法，包括以下步骤：

通过将波长彼此不同的三种光中的具有中间波长的狭缝光照射至被摄体表面上、并且利用第一摄像部件接收所述狭缝光的反射光，来获取被检体表面的反射亮度数据；

通过将除所述中间波长以外的波长不同的两个光从不同方向以彼此重叠的方式照射至被检体表面上的与所述狭缝光所照射的位置不同的位置、并且利用第二摄像部件接收来自所述两个光彼此重叠的部分的反射光，来获取被检体表面的表面数据；

根据所述第二摄像部件所获得的所述表面数据中所包含的所述两个光的强度之间的比率，来检测被检体表面的凹凸的有无；

通过将所述表面数据和所述第一摄像部件所获得的所述反射亮度数据进行合成，来检测被检体表面的色调的变化；以及

基于所述凹凸的有无和所述色调的变化，来检测被检体表面的光泽。