[发明专利]微机械元件、具有微机械元件的部件和用于制造部件的方法

权利要求书

1.一种微机械元件(123a)，其具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)，其中，通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数，通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数。

2.根据权利要求1所述的微机械元件(123a)，其中，所述第一物理测量参数和所述第二物理测量参数彼此不同。

3.根据权利要求1或2所述的微机械元件(123a)，其中，物理测量参数是源于测量参数组的至少一个物理测量参数，该测量参数组包括加速度、速度、旋转速率、压力、温度和角度。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的微机械元件(123a)，其中，所述第一单独传感器元件(1'a)布置在微机械元件(123a)的第一区域中，所述第二单独传感器元件(2'a)布置在微机械元件(123a)的第二区域中，其中，第一区域和第二区域被彼此密封地分隔开。

5.根据权利要求4所述的微机械元件(123a)，其中，第一区域具有第一压力，第二区域具有第二压力，第一压力和第二压力不同。

6.一种用于测量至少两个物理测量参数的部件(100)，该部件包括：

-微机械元件(123a)，该微机械元件具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)，其中，通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数，通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数；

-至少一个调节电子单元(1'b、2'b、3'b)，该调节电子单元能够与所述微机械元件(123a)电连接；

-其中，所述微机械元件(123a)和所述调节电子单元(1'b、2'b、3'b)布置在一共同的壳体(123c)中。

7.根据权利要求6所述的部件(100)，其中，至少一个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a)通过第一连接几何结构(11)与所述壳体(123c)内的调节电子单元(1'b、2'b、3'b)电连接。

8.根据权利要求7所述的部件(100)，其中，所述调节电子单元(1'b、2'b、3'b)具有第二连接几何结构(12)，该第二连接几何结构与部件(100)的第三连接几何结构(13)电连接。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的部件(100)，其中，所述微机械元件(123a)布置在第一调节电子单元(1'b、2'b、3'b)与第二调节电子单元(1'b、2'b、3'b)之间的几何中心上。

10.一种用于制造部件(100)的方法，该方法包括以下步骤：

-提供包括微机械元件(123a)的部件(100)，该微机械元件具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)，其中，通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数，通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数；

-提供至少一个调节电子单元(1'b、2'b、3'b)；

-把所述微机械元件(123a)与所述调节电子单元(1'b、2'b、3'b)电连接；和

-把所述微机械元件(123a)和所述调节电子单元(1'b、2'b、3'b)布置在一共同的壳体(123c)中。