[发明专利]用于光学评估的方法和系统以及光学检测器有效
申请号: | 201280066613.4 | 申请日: | 2012-11-30 |
公开(公告)号: | CN104204774A | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 史蒂芬·沙普尔斯;罗格·莱特 | 申请(专利权)人: | 诺丁汉大学 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01H9/00;H01L27/146 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 英国诺*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 光学 评估 方法 系统 以及 检测器 | ||
1.一种光学检测器,包括多个像素,每个像素包括光电二极管,所述光电二极管可操作为检测入射在该像素上的光并且产生指示该光的强度的信号,其中,所述多个像素包括多个像素对,并且其中,对于每个像素对,在配置模式中,所述检测器被设置为比较由所述像素对的第一像素产生的信号与由所述像素对的第二像素产生的信号。
2.根据权利要求1所述的光学检测器,其中,所述比较用于确定入射在所述像素对的所述第一像素上的光的强度是否高于入射在所述像素对的第二像素上的光的强度。
3.根据权利要求1或2所述的光学检测器,其中,所述光学检测器包括第一输出端和第二输出端,并且其中,指示由所述第一像素产生的强度的信号根据所述比较的结果而被连接到所述第一输出端或所述第二输出端。
4.根据权利要求3所述的光学检测器,其中,所述多个像素包括阵列,并且其中,指示由在所述阵列的有源区中的每个像素产生的强度的信号被连接到所述第一输出端或所述第二输出端。
5.根据权利要求4所述的光学检测器,其中,在实验模式中,指示在所述第一输出端处接收的强度的信号被相加,以产生第一合成强度信号,且其中,指示在所述第二输出端处接收的强度的信号被相加,以产生第二合成强度信号。
6.根据权利要求5所述的光学检测器,其中,在实验模式中,所述第二合成强度信号从所述第一合成强度信号中减去(或反之亦然)。
7.根据前述权利要求中任一项所述的光学检测器,其中,在配置模式中,所述比较在多个像素对之上同时且并行进行。
8.根据前述权利要求中任一项所述的光学检测器,其中,每对像素包括一对相邻像素。
9.根据前述权利要求中任一项所述的光学检测器,其中,所述像素对的设置是周期性的,使得每对的第一像素相对于该对的第二像素总是具有相同的空间关系。
10.根据权利要求8或9所述的光学检测器,其中,所述像素对重叠,使得一对中的第一像素包括相邻对中的第二像素。
11.根据前述权利要求中任一项所述的光学检测器,其中,所述多个像素以具有第一轴和与所述第一轴垂直的第二轴的规则平面阵列设置,且其中,基于与所述第一轴或所述第二轴对齐设置的像素对进行比较。
12.根据权利要求11所述的光学检测器,其中,所述比较能够在所述第一轴上的像素对的比较和在所述第二轴上的像素对的比较之间切换。
13.根据前述权利要求中任一项所述的光学检测器,其中,所述比较通过耦接在相应像素对的第一像素和第二像素之间的比较装置实现。
14.根据权利要求13所述的光学检测器,其中,所述比较装置设置在第一像素和多个相邻像素之间,从而所述第一像素的强度信号能够与所述多个相邻像素中的任一个的强度信号相比较。
15.根据权利要求13或14所述的光学检测器,其中,所述比较包括由相应像素对的第一像素和第二像素的光电二极管产生的电流的比较。
16.根据前述权利要求中任一项所述的光学检测器,其中,所述多个像素包括具有有源区和虚拟区的阵列,其中,所述虚拟区的像素没有使它们的强度信号连接至所述第一输出端或第二输出端。
17.一种光学评估系统,包括检测光源、检测光学器件和前述权利要求中任一项所述的光学检测器。
18.根据权利要求17所述的光学评估系统,进一步包括可操作为在测试下的样本中产生声波的激发光源。
19.根据权利要求18所述的光学评估系统,进一步包括诸如空间光调制器的光学成像装置以使由所述激发光源产生的光辐射成形。
20.根据权利要求19所述的光学评估系统,其中,所述光学成像装置可操作为使所述光辐射成形,以使所述声波聚焦。
21.一种操作具有多个像素的光学检测器的方法,每个像素包括光电二极管,所述光电二极管可操作为检测入射在该像素上的光并产生指示该光的强度的信号,所述方法包括将多个像素分组为像素对,并且在配置模式中,比较由所述像素对的第一像素产生的信号与由所述像素对的第二像素产生的信号。
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