[发明专利]带镜光波导和光纤连接器以及带镜光波导的制造方法

权利要求书

1.一种带镜光波导，其具备：

下部包覆层、

在所述下部包覆层的上方形成的芯图案、

在所述芯图案的倾斜面上形成的镜、

被覆所述芯图案中所述镜以外的部分的上部包覆层、以及

在所述上部包覆层中形成的大致柱状的开口部，

所述镜形成于所述开口部内。

2.根据权利要求1所述的带镜光波导，所述倾斜面的上边、下边和两侧边配置于所述开口部的内侧。

3.根据权利要求1或2所述的带镜光波导，在厚度方向上观察所述带镜光波导时，在所述镜的下边、上边和两侧边的至少一个与所述开口部的内壁之间具有间隙。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的带镜光波导，在所述开口部内的下部包覆层上形成与所述倾斜面为同一平面且连续的包覆倾斜面，该包覆倾斜面与所述镜的两侧边的至少一方相比更向外侧伸出。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的带镜光波导，所述芯图案为形成传输光信号的光路的芯图案，

所述镜为按照将在该光路中传输的光信号向所述下部包覆层外出射的方式并且按照将隔着所述下部包覆层入射的光信号在所述光路中传输的方式转换所述光信号的方向的在所述光路上形成的镜。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的带镜光波导，所述镜为镜位置识别用的虚拟镜。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的带镜光波导，所述开口部为空隙。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的带镜光波导，进一步具备覆盖所述开口部的盖部。

9.根据权利要求8所述的带镜光波导，所述镜与盖部之间的空隙和带镜光波导外部的空间仅在1个部位连接。

10.根据权利要求9所述的带镜光波导，在所述下部包覆层或上部包覆层中，形成连接所述空隙与带镜光波导的外部空间的通气路径。

11.根据权利要求9所述的带镜光波导，在所述上部包覆层与盖部之间具有隔离物层，在所述隔离物层中形成连接所述空隙与带镜光波导外部空间的通气路径。

12.根据权利要求10或11所述的带镜光波导，所述通气路径通过光刻加工形成。

13.根据权利要求10～12中任一项所述的带镜光波导，所述通气路径与通过所述镜进行光路转换的芯图案为同轴方向，且向设置该芯图案的一侧的相反侧延伸。

14.根据权利要求1～6中任一项所述的带镜光波导，进一步具备填充于所述开口部的树脂部。

15.根据权利要求14所述的带镜光波导，所述树脂部由感光性的树脂组合物形成。

16.根据权利要求15所述的带镜光波导，所述下部包覆层、所述上部包覆层和所述芯图案分别由下部包覆层用树脂组合物、上部包覆层用树脂组合物和芯图案用树脂组合物形成，

所述感光性的树脂组合物为所述下部包覆层用树脂组合物、所述上部包覆层用树脂组合物和所述芯图案用树脂组合物中的任一种。

17.根据权利要求1～16中任一项所述的带镜光波导，所述镜具有在所述倾斜面上形成的金属层。

18.根据权利要求17所述的带镜光波导，进一步在露出于所述开口部内的所述芯图案的上表面、所述芯图案的侧面和所述下部包覆层的至少任一个上设有金属层。

19.根据权利要求17或18所述的带镜光波导，在所述倾斜面上形成的所述金属层将在所述芯图案中传输的光信号和隔着所述下部包覆层入射的光信号反射。

20.一种光纤连接器，其具备：

权利要求1～19中任一项所述的带镜光波导、

层叠所述光波导的基板、以及

光纤导向图案，其为层叠于所述基板上的光纤导向图案，按照光纤与所述芯图案的所述光路进行光学连接的方式形成导入所述光纤的槽。