[发明专利]用于连结材料的方法、板轴装置和以此形成的多层板

说明书

技术领域

本发明涉及用于将物体连结在一起的方法，并且更具体地，本发明涉及用于连结陶瓷物体的钎焊方法。

背景技术

陶瓷材料的连结会涉及需要非常高的温度和非常高的接触压力的处理。例如，液相烧结可以用于将陶瓷材料连结在一起。在该类型的制造中，看到至少两个缺点。首先，较大的复杂陶瓷件的热加压/烧结在非常专业的处理炉内需要较大的物理空间。其次，倘若成品件的一部分由于磨损而变损坏或失效，则没有可用于拆开较大件的修复方法。由于专用夹具、高温以及无法拆卸，这些组件无不导致非常高的制造成本。

其它处理可以面向强度，并且可以在件之间产生较强的粘合力，虽然所述粘合力在结构上是充分的，但是没有气密地密封住件。在某些处理中，使用扩散粘合，所述扩散粘合会耗费明显大量的时间，并且还会改变各个件，使得这些件在连结部附近形成新化合物。这会使得新化合物不适于某些应用，并且不能被返工或修复或和再连结。

需要一种用于在低温下连结陶瓷件的连结方法，并且提供一种气密的密封件，并且允许用于修复。

附图标记

图1是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图；

图2是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图；

图3是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图，

图4是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图；

图5是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图；

图6是根据本发明的某些实施例的连结的陶瓷组件的示意图的简图；

图7是根据本发明的某些实施例的连结的陶瓷组件的剖视图；

图8是根据本发明的某些实施例的、具有支座台面的陶瓷件的透视图；

图9是根据本发明的某些实施例桥接不同气氛的连结部的剖视图；

图10是表示连结部的连结部完整性的视图；

图11是表示连结部的连结部完整性的视图；

图12是表示连结部的连结部完整性的视图；

图13是表示连结部的连结部完整性的视图；

图14是表示连结部的连结部完整性的视图；

图15是表示连结部的连结部完整性的视图；

图16是表示连结部的连结部完整性的视图；

图17是表示连结部的连结部完整性的视图；

图18是表示连结部的连结部完整性的视图；

图19是表示连结部的连结部完整性的视图；

图20是根据本发明的某些实施例的、用在半导体处理中的板轴装置的视图；

图21是根据本发明的某些实施例的、用于板的高温压机和炉的简图；

图22是根据本发明的某些实施例的、用于多个板的高温压机和炉的简图；

图23是用于板轴装置的高温压机和炉的简图；

图24是根据本发明的某些实施例的、在板和轴之间的连结部的剖视图；

图25是根据本发明的某些实施例的、在板和轴之间的连结部的剖视图；

图26是根据本发明的某些实施例的、具有台面的轴端的透视图；

图27是根据本发明的某些实施例的、用在半导体制造中的板轴装置的局部剖视图；

图28是根据本发明的某些实施例的、在轴和板之间的连结部的特写剖视图；

图29是根据本发明的某些实施例的板轴装置的视图；

图30是根据本发明的某些实施例的、准备用于组装的板和轴的视图；

图31是根据本发明的某些实施例的、准备用于组装的具有夹具的板和轴的视图；

图32是根据本发明的某些实施例的、准备用于组装的具有夹具的板和轴的视图；

图33是根据本发明的某些实施例的、具有多个同心连结层的板和轴组件的分解图；

图34是根据本发明的某些实施例的多层板的示意性剖视图；

图35示出根据本发明的某些实施例的板组件的局部剖视图；

图36示出根据本发明的某些实施例的板组件的局部剖视图；

图37示出根据本发明的某些实施例的板组件的局部剖视图；

图38示出根据本发明的某些实施例的、在板层之间的加热器元件；

图39示出根据本发明的某些实施例的、在板层之间的加热器元件；