[发明专利]用于制造太阳能电池的具有多激光脉冲的激光系统

权利要求书

1.一种从正在制造的太阳能电池移除材料的方法，所述方法包括：

从单脉冲激光源发射单脉冲激光束；

将所述单脉冲激光束分成第一激光束和第二激光束；

沿第一光学路径引导所述第一激光束；

沿第二光学路径引导所述第二激光束，所述第二光学路径长于所述第一光学路径；

将所述第一激光束和所述第二激光束重新结合成多脉冲激光束，所述多脉冲激光束包括第一激光脉冲和第二激光脉冲，所述第一激光脉冲和所述第二激光脉冲由激光脉冲延迟时间分隔；以及

将所述多脉冲激光束冲击到太阳能电池的材料上以移除所述材料的一部分。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

引导所述单脉冲激光束穿过第一波片；以及

在引导所述单脉冲激光束穿过所述第一波片之后，使用第一分束器将所述单脉冲激光束分离成所述第一激光束和所述第二激光束。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：

将来自所述第一分束器的所述第二激光束反射到所述第二光学路径上的第一转向镜上。

4.根据权利要求3所述的方法，还包括：

通过所述第一转向镜将所述第二激光束反射到所述第二光学路径上的第二转向镜；以及

通过所述第二转向镜引导所述第二激光束穿过第二波片并且将其引导到第二分束器上。

5.根据权利要求4所述的方法，还包括：

通过所述第一分束器透射所述第一激光束，穿过第二波片，并且传输到所述第二分束器上。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述第二分束器将所述第一激光束和所述第二激光束重新结合成所述多脉冲激光束。

7.根据权利要求2所述的方法，还包括：

旋转所述第一波片以调节所述第二激光束的强度。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括：

相对于所述第一光学路径的距离调节所述第二光学路径的距离以调节所述第一激光脉冲和所述第二激光脉冲之间的激光脉冲延迟时间。

9.一种用于从正在制造的太阳能电池移除材料的激光系统，所述激光系统包括：

单脉冲激光源，所述单脉冲激光源被配置成产生单脉冲激光束；

多脉冲发生器，其在所述单脉冲激光源的外壳之外，所述多脉冲发生器被配置成将所述单脉冲激光束转化成多脉冲激光束；

激光扫描仪，所述激光扫描仪被配置成在整个太阳能电池基板上扫描所述多脉冲激光束；以及

支撑台，所述支撑台用于支撑所述太阳能电池基板。

10.根据权利要求9所述的激光系统，其中所述多脉冲发生器还包括：

与所述单脉冲激光束相对应的第一半波片；以及

从所述第一半波片接收所述单脉冲激光束的第一偏振分束器，所述第一偏振分束器被配置成将所述单脉冲激光束分离成引导到第一光学路径上的第一激光束和引导到第二光学路径上的第二激光束。

11.根据权利要求10所述的激光系统，其中所述多脉冲发生器还包括滑架组件，所述滑架组件被配置成调节所述第二光学路径的距离。

12.根据权利要求10所述的激光系统，其中所述多脉冲发生器还包括：

第二偏振分束器，所述第二偏振分束器被配置成将所述第一激光束和所述第二激光束重新结合成所述多脉冲激光束。

13.根据权利要求12所述的激光系统，其中所述多脉冲发生器还包括：

第二半波片，所述第二半波片被配置成从所述第一偏振分束器接收所述第一激光束，所述第二半波片与所述第一激光束相对应并且处于所述第一偏振分束器和所述第二偏振分束器之间。

14.根据权利要求13所述的激光系统，其中所述多脉冲发生器还包括：

第三半波片，所述第三半波片被配置成接收所述第二激光束并且与所述第二激光束和所述第二偏振分束器相对应。

15.根据权利要求14所述的激光系统，还包括：

第一转向镜，所述第一转向镜被配置成将所述第二激光束反射到第二转向镜上；以及

所述第二转向镜。

16.根据权利要求15所述的激光系统，其中所述第一转向镜和所述第二转向镜可移动地支撑在轨道上。