[发明专利]偏振分离元件

权利要求书

1.一种紫外偏振光分离元件，包括：

基板；和

凹凸结构，所述凹凸结构具有包含吸光材料的凸出部和包含介电材料的凹入部，所述吸光材料相对于波长为300nm的光的折射率为1至10，消光系数为0.5至10，所述凹凸结构形成于所述基板上。

2.根据权利要求1所述的紫外偏振光分离元件，其中，在以下公式1中，a为0.74至10，b为0.5至10：

[公式1]

(a+bi)₂＝n₁²×(1-W/P)+n₂²×W/P，

其中，i为虚数，n₁表示所述介电材料相对于波长为300nm的光的折射率，n₂表示所述凸出部相对于波长为300nm的光的折射率，W表示所述凸出部的宽度，P表示所述凸出部的间距。

3.根据权利要求1所述的紫外偏振光分离元件，其中，在以下公式2中，c为1.3至10，d为0.013至0.1：

[公式2]

(c+di)²＝n₁²×n₂²/((1-W/P)×n₂²+W×n₁²/P)，

其中，i为虚数，n₁表示所述介电材料相对于波长为300nm的光的折射率，n₂表示所述凸出部相对于波长为300nm的光的折射率，W表示所述凸出部的宽度，P表示所述凸出部的间距。

4.根据权利要求1所述的紫外偏振光分离元件，其中，在以下公式1中，a为0.74至10，b为0.5至10，在以下公式2中，c为1.3至10，d为0.013至0.1：

[公式1]

(a+bi)₂＝n₁²×(1-W/P)+n₂²×W/P，

[公式2]

(c+di)²＝n₁²×n₂²/((1-W/P)×n₂²+W×n₁²/P)，

其中，i为虚数，n₁表示所述介电材料相对于波长为300nm的光的折射率，n₂表示所述凸出部相对于波长为300nm的光的折射率，W表示所述凸出部的宽度，P表示所述凸出部的间距。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的紫外偏振光分离元件，其中，所述介电材料相对于波长为250nm至350nm的光的折射率为1至3。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的紫外偏振光分离元件，其中，所述凸出部相对于波长为250nm至350nm的光的折射率为1至10。

7.根据权利要求2至4中任一项所述的元件，其中，所述凸出部相对于波长在紫外区的光的消光系数为0.5至10。

8.根据权利要求1所述的紫外偏振光分离元件，其中，所述吸光材料为选自硅、氧化钛、氧化锌、氧化锆、钨、氧化钨、砷化镓、锑化镓、砷化铝镓、碲化镉、铬、钼、镍、磷化镓、砷化铟镓、磷化铟、锑化铟、碲化镉锌、氧化锡、氧化铯、钛酸锶、碳化硅、铱、氧化铱或碲化硒锌中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的紫外偏振光分离元件，由公式3计算的D为0.67至0.98：

[公式3]

D＝(Tc-Tp)/(Tc+Tp)，

其中，Tc表示在垂直于所述凸出部的方向上偏振的波长为250nm至350nm的光相对于所述偏振光分离元件的透射率，Tp表示在平行于所述凸出部的方向上偏振的波长为250nm至350nm的光相对于所述偏振光分离元件的透射率。

10.根据权利要求2至4中任一项所述的紫外偏振光分离元件，其中，所述凸出部的间距为50nm至200nm。