[发明专利]反应溅射过程

权利要求书

1.一种用于反应溅射的方法，其中借助离子轰击，材料从第一靶子的表面脱离并且过渡到气相，其中在所述靶子上如此以脉冲方式施加负电压，使得在靶子表面上产生电流密度大于0.5A/cm²的电流，使得过渡到气相的材料至少部分被离子化并且其中构建反应气体流，并且反应气体与靶子表面的材料反应，其特征在于，如此选择电压脉冲的持续时间，使得在所述电压脉冲期间靶子表面在电流流动的一个或者多个位置大部分时间至少部分地用由反应气体和靶子材料组成的化合物覆盖，并且因此靶子表面处于第一中间状态，以及该覆盖在电压脉冲结束时小于电压脉冲开始时，并且因此靶子表面在电压脉冲结束时处于第二中间状态。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过电压和电流产生的功率脉冲至少在该脉冲的大部分时间优选基本上在全部脉冲持续时间保持在基本恒定的功率振幅上。

3.根据上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，脉冲持续时间在500μs和100ms之间，优选在1ms和10ms之间，特别优选在1ms和5ms之间。

4.根据上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在第一脉冲和后面的脉冲之间的一个或多个中断时间如此选择，使得在该时间内所述反应气体与靶子表面能够如此大范围地反应，使得在下一个脉冲开始时靶子表面关于覆盖处于和第一脉冲开始时基本上相同的中间状态。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述后面的脉冲是直接跟在第一脉冲之后的脉冲，也就是说，它们之间不存在另外的脉冲。

6.根据上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，使用至少一个第二靶子并且为了以脉冲方式施加电压而顺序地从第一靶子向第二靶子以及必要时顺序地向另外的靶子接通功率输入，使得在至少一个这样的序列期间提供功率的发电机的功率输出不被中断，所述发电机优选是DC发电机。

7.用于调节根据上述权利要求之一所述的反应溅射方法的方法，其特征在于，在达到与靶子表面的第二中间状态对应的预先规定电压时终止电压脉冲。

8.用于调节根据上述权利要求之一所述的反应溅射方法的方法，其特征在于，在不超过预先规定的电压的情况下，在脉冲开始时中断时间选择得比前次中断时间短，而在超过预先规定的电压的情况下，在脉冲开始时中断时间选择得比前次中断时间长。

9.根据上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，第二中间状态基本上是靶子表面的金属状态或者不是金属状态。