[发明专利]将氟化氢送入电解池中的方法

权利要求书

1.一种用于在电解池(电解器)中制造F₂的方法，该电解池用于由熔融盐电解质通过电解该电解质中包含的HF来(电解地)产生单质氟，其中形成F₂和H₂，并且所消耗的HF通过供应新鲜的HF来补充，由熔融盐电解质产生单质氟包括将新鲜的氟化氢作为进料材料供应到该电解池(电解器)来补充所消耗的HF的步骤，该方法包括将氟化氢(HF)从(a)氟化氢供应单元通过(b)氟化氢供应管线传送到(c)该电解池中，其中新鲜的HF的供应被限制为每吨电解质最多10kg/h HF的HF流量(HF进料量)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中将熔融盐电解质进行电解，并且其中该熔融盐电解质是KF的熔融HF加合物、优选具有根据化学式KF·(1.8-2.3)HF的HF范围的KF的熔融HF加合物。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的方法，其中相对于2吨电解质，与该电解池的氟生产能力有关的所需量的氟化氢的进料在2至5kg/h HF的HF进料量范围内、优选在3至4kg/h HF的范围内。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中每小时HF进料量(kg/h)是每2吨电解质低于15kg/h、更优选低于10kg/h。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中每小时HF进料量(kg/h)在1至20kg/h的范围内、优选在1至15kg/h的范围内、并且更优选在1至10kg/h的范围内。

6.根据权利要求5所述的方法，其中每小时HF进料量(kg/h)在2至10kg/h的范围内、优选在4至10kg/h的范围内、并且更优选在6至10kg/h的范围内、并且甚至更优选在7至9kg/h的范围内，并且最优选每小时HF进料量为大约8kg/h。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中每小时HF进料量(kg/h)是通过借助于压力或泵送装置调节HF的流量来实现的。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其中每小时HF进料量(kg/h)是通过调节在该氟化氢供应管线(b)中的流量孔口的直径、优选通过在该氟化氢供应管线(b)中的直径大约2.5mm的流量孔口来实现的。

9.根据权利要求8所述的方法，其中HF进料量(kg)以及进料间隔(h)是由自动阀来调节的。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中，在一个时间段内，通过浸没在该电解质中的供应管线供应HF，中断该供应，并且在接下来的时间段内，将惰性气体压入该HF供应管线中，通过所测定的该浸没的管线中的电解质的水平与围绕该浸没的管线的电解质的水平之间的压力差来测定该电解质的水平，接下来是供应HF和测定该电解质水平的至少另一个循环。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法，其中在该电解池(c)中产生的单质氟旨在用于在一种用于制造电子器件的方法中的用途、优选用于在一种用于制造电子器件的方法中作为蚀刻剂或作为室清洁剂的用途。

12.根据权利要求11所述的方法，其中该电子器件选自由半导体、光伏电池、MEMS、以及TFT组成的组。

13.根据权利要求11或12的任一项所述的方法，其中该氟是在用于制造电子器件的方法中使用的生产设备的“现场”或者“场外”产生的。

14.根据权利要求1所述的用于在电解池(电解器)中制造F₂的方法，该电解池用于由熔融盐电解质来(电解地)产生单质氟，该方法包括将氟化氢作为进料材料供应到该电解池(电解器)中的步骤，该方法包括将氟化氢(HF)从(a)氟化氢供给装置通过(b)氟化氢供应管线传送到(c)该电解池中，其中将规定的氟生产能力的所需量的氟化氢进料，优选作为气态的HF，以与供应的满(最大)HF供给容量相比低得多的每小时HF进料量(kg/h)送入该电解池中，其中该低得多的HF进料量等于或者低于满(最大)进料量的25％。

15.根据权利要求14所述的方法，其中该满(最大)进料量等于或者低于100kg/h、优选等于或者低于80kg/h。