[发明专利]X射线厚度计

说明书

技术领域

本发明的实施方式涉及一种X射线厚度计。

背景技术

X射线厚度计是对钢板等移动的板的厚度(以下称为板厚)连续地进行测定的装置。该X射线厚度计为，对板照射X射线，由此对由于板而衰减的X射线的量(以下称为X射线衰减量)进行测定，将该测定的X射线衰减量换算成板厚，由此测定板厚。另外，X射线衰减量与板厚之间的关系为非线性。

因此，需要预先根据板厚为已知的多个基准板的板厚、以及测定各基准板的板厚时的X射线的检测剂量来制作检量线。

但是，检测剂量由于各种干扰因素而变化，因此即便使用上述检量线来将X射线衰减量换算成板厚，也存在无法测定准确的板厚这种不良情况。

并且，作为上述干扰因素，能够列举冷却X射线产生器的冷却介质的温度变化、X射线产生器以及检测器之间的几何学的设定环境的温度变化以及湿度变化、向X射线产生器以及检测器之间的X射线束所照射的光学空间内的异物(例如水、油、油雾、氧化皮等)的混入等。

因此，X射线厚度计通常具有能够校正检量线的检量线校正功能。具体而言，X射线厚度计使用所内置的10张左右的校正板来测定检测剂量，并使用这些检测剂量来校正检量线(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特公平2-37523号公报

发明内容

发明要解决的课题

专利文献1所示的方法的检量线校正功能，是具备多张不同厚度的基准板，通过一张该基准板或者多张该基准板的组合来设定多个厚度基准点(校正点)的方式，因此能够进行高精度的校正。

但是，由于多个基准板的制作、组装被要求高精度，因此存在用于校正的作业、装置的构成变得复杂的问题。

本发明的目的在于提供一种X射线厚度计及其校正方法，不具备上述多个基准板，而具有基于一张校正板的简单的校正功能。

用于解决课题的手段

实施方式的X射线厚度计为，根据对被测定物照射X射线而得到的检测剂量以及检量线，来测定上述被测定物的板厚，且能够执行校正上述检量线的检量线校正处理。

上述X射线厚度计主体具备第一存储单元、第二存储单元、测定单元、第一计算单元、第二计算单元、读出单元以及校正单元。

上述第一存储单元按照每个使上述检测剂量变动的干扰因素来存储表示对所希望的厚度进行定义的多个校正点的检测剂量的变化率的修正曲线。

上述第二存储单元存储在上述检量线制作时使用的、在X射线束中未插入校正板的第一状态下的检测剂量、在X射线束中插入了校正板的第二状态下的检测剂量、以及遮断了X射线的第三状态下的检测剂量。

上述测定单元在上述检量线校正处理时分别测定上述第一状态至上述第三状态下的检测剂量。

上述第一计算单元根据上述测定的各检测剂量以及上述存储的各检测剂量，计算表示上述第一状态至上述第三状态下的检测剂量的变化率的第一检测剂量变化率。

上述第二计算单元根据上述计算出的第一检测剂量变化率，计算表示上述各校正点的检测剂量的变化率的第二检测剂量变化率。

上述读出单元从上述第一存储单元读出上述存储的多个修正曲线中、与表示上述计算出的第二检测剂量变化率的曲线一致或者近似的修正曲线。

上述校正单元在使用上述读出的修正曲线对上述各校正点的检测剂量进行了修正之后，根据该修正后的检测剂量对上述检量线进行校正。

附图说明

图1是表示一个实施方式的X射线厚度计的构成例的模式图。

图2是表示该实施方式的运算装置内的存储器所预先存储的信息的一例的模式图。

图3是表示该实施方式的X射线厚度计进行的检量线校正处理的一例的流程图。

图4是表示该实施方式的X射线厚度计进行的检量线校正处理的一例的模式图。

图5是表示该实施方式的X射线厚度计进行的检量线校正处理的一例的模式图。

具体实施方式

图1是表示一个实施方式的X射线厚度计的构成例的模式图。如图1所示，X射线厚度计1具备X射线产生器11、校正装置12、校正板13、X射线检测器14以及运算装置15。首先，对构成X射线厚度计1的各装置11至15所具有的功能进行说明。