[发明专利]氟化物喷涂覆膜的形成方法及氟化物喷涂覆膜覆盖部件

权利要求书

1.一种氟化物喷涂覆膜的形成方法，其特征在于：在按照通过喷洒从Al₂O₃和SiC中选出的研磨材的喷砂表面粗糙化处理而将表面粗糙度调整成Ra：0.05～0.74μm、Rz：0.09～2.0μm的方式经表面粗糙化的基材的表面上，通过使用高速喷洒用喷涂枪以150～600m/s的飞行速度喷洒碳化物金属陶瓷材料，从而形成使碳化物金属陶瓷颗粒的前端部埋没于基材中、同时呈膜状覆盖而成的碳化物金属陶瓷的底涂层或非膜状底漆部，并且对基材产生压缩残留应力，然后在该底涂层或该底漆部上喷涂氟化物喷涂材料。

2.如权利要求1所述的氟化物喷涂覆膜的形成方法，其特征在于，前述碳化物金属陶瓷的底涂层为下述膜状构造层，该膜状构造层在基材表面侧通过使碳化物金属陶瓷颗粒的一部分的前端部埋没于基材中，且重复喷涂次数而使其增厚而成，并且具有10μm～150μm的层厚。

3.如权利要求1所述的氟化物喷涂覆膜的形成方法，其特征在于，前述碳化物金属陶瓷的底漆部在相对基材表面以面积率计为8～50％的部分，由喷涂颗粒的前端部如桩般插入且稀疏林立的状态的非膜状构造构成。

4.如权利要求1～3中任一项所述的氟化物喷涂覆膜的形成方法，其特征在于，碳化物金属陶瓷的前述底涂层及前述底漆部是对由从Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W及Si中选出的一种以上的碳化物、与以质量计为5～40％的从Co、Ni、Cr、Al及Mo的一种以上的金属、合金构成的大小为5～80μm的颗粒，使用能以150～600m/s的飞行速度喷洒的高速喷洒用喷涂枪，以下述条件进行喷涂而得到的，所述条件为：若为该底涂层时喷涂次数为6次以上，若为该底漆部时则喷涂次数为5次以下。

5.如权利要求1～3中任一项所述的氟化物喷涂覆膜的形成方法，其特征在于，在喷涂氟化物颗粒前，将基材预热至80～700℃。

6.如权利要求1～3中任一项所述的氟化物喷涂覆膜的形成方法，其特征在于，氟化物的喷涂方法为从大气等离子喷涂法、减压等离子喷涂法及高速火焰喷涂法中选出的任一种喷涂法。

7.如权利要求1～3中任一项所述的氟化物喷涂覆膜的形成方法，其特征在于，关于前述基材，使用Al及其合金、Ti及其合金、碳钢、不锈钢、Ni及其合金、氧化物、氮化物、碳化物、硅化物、碳烧结体及塑料中的任一者。

8.如权利要求1～3中任一项所述的氟化物喷涂覆膜的形成方法，其特征在于，关于前述氟化物喷涂覆膜，喷涂从周期表IIa族的Mg、周期表IIIb族的Al、周期表IIIa族的Y、原子序号57～71的镧系金属的La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu的氟化物中选出的一种以上的粒径为5μm～80μm的氟化物颗粒，从而形成20μm～500μm的膜厚。

9.一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件，其特征在于，由表面按照通过喷洒从Al₂O₃和SiC中选出的研磨材的喷砂表面粗糙化处理而将表面粗糙度调整成Ra：0.05～0.74μm、Rz：0.09～2.0μm的方式经表面粗糙化的基材、覆盖形成于该基材的表面粗糙化的表面的碳化物金属陶瓷层以及形成于其上的氟化物喷涂覆膜构成；

该碳化物金属陶瓷层通过使用高速喷洒用喷涂枪喷洒由从Ti、Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mn、W及Si中选出的一种以上的碳化物、与以质量计为5～40质量％的从Co、Ni、Cr、Al及Mo中选出的一种以上的金属/合金构成的粒径5～80μm的碳化物金属陶瓷颗粒，从而由使该碳化物金属陶瓷颗粒的一部分埋没于基材中同时增厚的膜状底涂层、或者具有喷涂颗粒的前端如桩般插入且稀疏林立的构造的非膜状构造的底漆部构成，该底涂层和底漆部分别对基材产生压缩残留应力。

10.如权利要求9所述的氟化物喷涂覆膜覆盖部件，其特征在于，碳化物金属陶瓷的前述底涂层为下述膜状层，该膜状层在基材表面侧通过使碳化物金属陶瓷颗粒的一部分的前端部埋没于基材中，且重复喷涂次数而使其增厚而成，并且具有10μm～150μm的层厚。