[发明专利]确定用于监测流体轴承和具有至少一个流体轴承的机器的校正值的方法

权利要求书

1.一种用于确定校正值的方法(90)，所述校正值用于监测用于机加工或测量工件(32)的机器(10)的流体轴承(35)，所述方法包括以下步骤：

提供用于机加工或测量工件(32)的机器(10)，所述机器(10)具有第一元件(56)和第二元件(58)，所述第一元件(56)和第二元件(58)借助于至少一个流体轴承(35)而相互支撑，并且所述机器(10)具有用于控制所述机器(10)的控制装置(38)，并且

其特征在于以下步骤：

确定步骤(96)，按所述第一元件(56)相对于所述第二元件(58)的位置和/或取向的函数，确定代表所述至少一个流体轴承(35)中压力的量，

决定步骤(98)，针对所述第一元件(56)相对于所述第二元件(58)的位置和/或取向，决定用于所述至少一个流体轴承(35)中的压力的校正值，以及

存储步骤(100)，将所述校正值存储在所述控制装置(38)中。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法(90)用于坐标测量机的所述流体轴承(35)。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，针对所述第一元件(56)相

对于所述第二元件(58)的多个位置和/或取向执行所述确定步骤(96)。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述多个位置和/或取向覆盖所述第一元件(56)和所述第二元件(58)之间的不连续步进的相对运动的整个范围。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一元件(56)和所述第二元件(58)每一个均为用于固定工件(32)的工件固定台(29)的元件。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一元件(56)为转盘(30)或转盘(30)的转子，而所述第二元件(58)为在其上支撑所述转盘(30)的底座(12)或所述转盘(30)的定子。

7.如权利要求1-6中任意一项所述的方法，其特征在于，所述机器(10)具有多个流体轴承(35)，针对每个所述流体轴承(35)执行确定步骤、决定步骤和存储步骤。

8.如权利要求1-4中任意一项所述的方法，其特征在于，所述第一元件(56)和所述第二元件(58)每一个均为所述机器(10)的机架(17)的元件，所述机器(10)的工作头(20)设置在所述机架(17)上。

9.如权利要求1-6中任意一项所述的方法，其特征在于，在每个确定步骤(96)之前，执行使所述第一元件(56)和所述第二元件(58)彼此相对运动(95)的步骤，其方式使得所述第一元件(56)相对于所述第二元件(58)的位置和/或取向变化。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第一元件(56)相对于所述第二元件(58)的运动是逐步执行的，在所述确定步骤(96)的过程中所述第一元件(56)和所述第二元件(58)相对于彼此的位置和/或取向不变。

11.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第一元件(56)相对于所述第二元件(58)的运动(95)是连续执行的，在所述确定步骤(96)的过程中所述第一元件(56)和所述第二元件(58)相对于彼此的位置和/或取向变化。

12.如权利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述确定步骤(96)、决定步骤(98)和存储步骤(100)在所述工件(32)未布置在所述工件固定台(29)上的情况下执行。

13.如权利要求1-6中任意一项所述的方法，其特征在于，所述方法(90)还包括以下步骤：

将所述工件(32)布置在所述机器(10)的工件固定台上，以及

在将所述校正值考虑在内的同时对所述工件(32)进行机加工或测量(104)。

14.如权利要求1-6中任意一项所述的方法，其特征在于，所述确定步骤(96)是通过借助于压力传感器(78)直接确定所述压力而执行的。