[发明专利]电子元件保持头、电子元件检测方法及裸片供给机

权利要求书

1.一种电子元件保持头，具备：

多个吸嘴，用于吸附保持电子元件；

多个空气通路，与所述多个吸嘴对应地设置，并连接于所述多个吸嘴中的与自身对应的吸嘴；

空气抽吸装置，与所述多个空气通路连接，并从所述多个空气通路内抽吸空气；及

多个流量传感器，与所述多个空气通路对应地设置，检测在所述多个空气通路中的与自身对应的空气通路的内部流动的空气的流量，

所述电子元件保持头能够通过所述多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件，

所述电子元件保持头中，

该电子元件保持头具备电子元件检测装置，所述电子元件检测装置检测通过所述空气抽吸装置抽吸空气时所述吸嘴有无吸附电子元件，

该电子元件检测装置具有：

设定部，对于所述多个流量传感器中的各个流量传感器，分别根据与设有所述各个流量传感器的所述空气通路连接的所述吸嘴的吸嘴直径来设定阈值；

判定部，判定通过所述空气抽吸装置抽吸空气时的所述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值是否超过所述设定部分别根据所述各个流量传感器而设定的阈值；及

认定部，对于与所述多个流量传感器中的被判定为检测值超过阈值的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为未吸附电子元件；对于与被判定为检测值在阈值以下的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为吸附有电子元件。

2.根据权利要求1所述的电子元件保持头，其中，

所述电子元件检测装置具有校正部，所述校正部基于在未由该电子元件保持头进行保持作业的状况下通过所述空气抽吸装置抽吸空气时的所述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值，校正所述设定部分别根据所述各个流量传感器而设定的阈值。

3.根据权利要求1或2所述的电子元件保持头，其中，

所述吸嘴以能够拆装的方式与所述空气通路连接，

所述设定部构成为，每当所述吸嘴被安装于所述空气通路或从所述空气通路被拆卸时，即设定阈值。

4.一种电子元件检测方法，在电子元件保持头中检测通过空气抽吸装置抽吸空气时吸嘴有无吸附电子元件，

所述电子元件保持头具备：

多个吸嘴，用于吸附保持电子元件；

多个空气通路，与所述多个吸嘴对应地设置，并连接于所述多个吸嘴中的与自身对应的吸嘴；

空气抽吸装置，与所述多个空气通路连接，并从所述多个空气通路内抽吸空气；及

多个流量传感器，与所述多个空气通路对应地设置，检测在所述多个空气通路中的与自身对应的空气通路的内部流动的空气的流量，

所述电子元件保持头能够通过所述多个吸嘴来同时吸附保持多个电子元件，

所述电子元件检测方法包括：

设定工序，对于所述多个流量传感器中的各个流量传感器，分别根据与设有所述各个流量传感器的所述空气通路连接的所述吸嘴的吸嘴直径来设定阈值；

判定工序，判定通过所述空气抽吸装置抽吸空气时的所述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值是否超过所述设定工序中分别根据所述各个流量传感器而设定的阈值；及

认定工序，对于与所述多个流量传感器中的被判定为检测值超过阈值的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为未吸附电子元件；对于与被判定为检测值在阈值以下的流量传感器对应的所述吸嘴，认定为吸附有电子元件。

5.根据权利要求4所述的电子元件检测方法，其中，

该电子元件检测方法包括校正工序，

所述校正工序中，基于在未由该电子元件保持头进行保持作业的状况下通过所述空气抽吸装置抽吸空气时的所述多个流量传感器中的各个流量传感器的检测值，来校正所述设定工序中分别根据所述各个流量传感器而设定的阈值。

6.根据权利要求4或5所述的电子元件检测方法，其中，

所述吸嘴以能够拆装的方式与所述空气通路连接，

所述设定工序中，每当所述吸嘴被安装于所述空气通路或从所述空气通路被拆卸时，即设定阈值。

7.一种裸片供给机，具备：

权利要求1～6中任一项所述的电子元件保持头；及

保持对晶片进行切割而成的裸片集合体的裸片集合体保持装置，

所述裸片供给机在所述电子元件保持头从裸片集合体同时吸附保持有多个裸片的状态下，供给所述多个裸片。