[发明专利]使带电粒子偏转的偏转板和偏转装置有效
| 申请号： | 201280073627.9 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN104396351B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | P·S·阿普塔克;P·比斯利;O·海德 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | H05H7/00 | 分类号： | H05H7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 张涛,刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 偏转 偏转板 装置 | ||
1.用于使带电粒子偏转的偏转装置（130），其中该偏转装置（130）被构造为将在第三空间方向（103）上运动的带电粒子偏转到第二空间方向（102）上，
其中所述偏转装置（130）具有第一偏转板（210）和第二偏转板（220），以及其中
-第一偏转板（210）和第二偏转板（220）分别具有非平面形状，
-第一偏转板（210）和第二偏转板（220）分别围绕指向第一空间方向（101）的轴线弯曲，
-第二偏转板（220）相对于第一偏转板（210）镜像布置，
其中第一空间方向、第二空间方向和第三空间方向彼此垂直。
2.根据权利要求 1 所述的偏转装置（130），其中第一偏转板（210）和第二偏转板（220）在垂直于第一空间方向（101）的第二空间方向（102）上彼此有间隔，
其中第一偏转板（210）和第二偏转板（220）相对于垂直于第二空间方向（102）的平面镜像布置。
3.根据权利要求 2 所述的偏转装置（130），其中偏转板（210，220）的凹表面（510）彼此相对。
4.根据权利要求 2 或 3 中任一项所述的偏转装置（130），
其中所述偏转装置（130）具有第三偏转板（230）和第四偏转板（240），
其中第三偏转板（230）相对于第一偏转板（210）朝向垂直于第一空间方向（101）和第二空间方向（102）的第三空间方向（103）偏移，
其中第四偏转板（240）相对于第二偏转板（220）朝向第三空间方向（103）偏移。
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