[发明专利]静电耦合方式非接触供电装置

权利要求书

1.一种静电耦合方式非接触供电装置，具备：

多个非接触供电用电极，设于固定部；

高频电源电路，向所述多个非接触供电用电极之间供给高频电力；

多个非接触受电用电极，设于能够移动地架装于所述固定部的移动部上，与所述多个非接触供电用电极分别隔有距离地相向而以非接触方式接收高频电力；及

受电电路，对所述多个非接触受电用电极所接收到的高频电力进行转换而向所述移动部上的电气负载供电，

所述静电耦合方式非接触供电装置中，

所述非接触供电用电极及所述非接触受电用电极是与所述移动部的移动方向垂直的截面形状由基部及从所述基部延伸的多个齿部构成、且所述多个齿部彼此相互隔有距离且相互交错地嵌合的梳型电极，

而且，所述非接触受电用电极是所述齿部的表面由遍及所述多个齿部而连成一体的导体层覆盖、且所述齿部的内部及所述基部由比重比所述导体层的比重小的材质形成的梳型电极。

2.根据权利要求1所述的静电耦合方式非接触供电装置，其中，

所述非接触受电用电极是在所述齿部及所述基部中的至少一方的内部具有空间而轻量化的梳型电极。

3.根据权利要求1所述的静电耦合方式非接触供电装置，其中，

所述非接触供电用电极是所述齿部的表面由导体层覆盖且所述齿部的内部及所述基部由比重比所述导体层的比重小的材质形成的梳型电极、或者在所述齿部及所述基部中的至少一方的内部具有空间而轻量化的梳型电极。

4.根据权利要求1所述的静电耦合方式非接触供电装置，其中，

所述梳型电极的齿部的截面形状是在接近所述基部的一侧宽且随着远离所述基部而变窄的三角形截面或梯形截面。

5.根据权利要求1所述的静电耦合方式非接触供电装置，其中，

所述移动部配备于对基板进行预定作业的基板用作业设备。