[发明专利]检查头、作业装置及电子元件安装生产线

权利要求书

1.一种检查头，能够作为可更换的作业头而安装于用于对基板进行作业的作业装置，以检查基板的表面状态，所述作业装置包括：安装作业装置和检查作业装置，

所述检查头搭载有：

相机，拍摄基板而取得图像数据；

存储介质，能够存储检查处理程序和检查基准数据；及

控制部，按照检查处理程序，基于从相机取得的图像数据和检查基准数据来执行检查处理。

2.根据权利要求1所述的检查头，其中，

所述控制部能够与所述作业装置的外部的计算机进行通信，并将表示检查结果的检查结果数据向所述作业装置的外部的计算机输出。

3.根据权利要求1所述的检查头，其中，

所述检查头还搭载有向基板照射拍摄用的光的拍摄用照明。

4.一种作业装置，安装有权利要求1～3中任一项所述的检查头作为作业头。

5.一种电子元件安装生产线，在安装有向基板安装电子元件的安装头作为作业头的作业装置的下游侧配置有权利要求4所述的作业装置。