[发明专利]具有白光传感器的坐标测量机

权利要求书

1.一种测量测量对象(12)的坐标测量机(10)，包括支撑所述测量对象(12)的工件支撑物，包括承载光学传感器(18)的测量头，其中，所述测量头和所述工件支撑物能够相对彼此移动，其中，所述光学传感器(18)具有物镜(43)和相机(34)，所述相机设计成通过所述物镜(43)捕获所述测量对象(12)的像，其中，所述物镜(43)具有入光开口(39)和出光开口(41)，其中，所述物镜(43)具有多个透镜元件组(40,42,44,46,48)，所述透镜元件组沿所述物镜(43)的纵轴(49)以一个位于另一个后方的方式布置在物镜(43)中，位于所述入光开口(39)和所述出光开口(41)之间，其特征在于，来自所述多个透镜元件组(40,42,44,46,48)的第一透镜元件组(40)以固定方式布置在所述入光开口(28)的区域中，在所述物镜(43)中，在第一和第二透镜元件组(40,42)之间有空隙(62)，以及所述坐标测量机(10)还具有白光传感器(88)和至少部分反射的耦合元件(64)，所述耦合元件将所述白光传感器(88)耦合进所述物镜(43)中，所述耦合元件能够选择性地移动到所述空隙(62)中。

2.如权利要求1所述的坐标测量机，其特征在于，所述坐标测量机(10)具有位于所述第一透镜元件组(40)和所述耦合元件(64)之间的准直元件(104)。

3.如权利要求2所述的坐标测量机，其特征在于，所述准直元件(104)具有从由折射光学元件、衍射光学元件和全息光学元件构成的组中选择的至少一个光学元件。

4.如权利要求2或3所述的坐标测量机，其特征在于，所述准直元件(104)能够与所述耦合元件(64)一起移动。

5.如权利要求1至3任一项所述的坐标测量机，其特征在于，所述坐标测量机(10)还具有束引导光学系统(112)，用于将光(100)从所述耦合元件(64)引导至所述白光传感器(88)。

6.如权利要求5所述的坐标测量机，其特征在于，所述束引导光学系统(112)能够与所述耦合元件(64)一起移动，并将光(100)从所述耦合元件(64)引导进光纤(114)中，所述光纤布置成其将所述束引导光学系统(112)光学地连接到所述白光传感器(88)的评估单元(118)和光源(120)。

7.如权利要求6所述的坐标测量机，其特征在于，所述白光传感器(88)具有分束器(116)，所述分束器组合由所述光源(120)发射的光的光路(121)和入射在所述评估单元(118)上的光的光路(119)。

8.如权利要求1至3任一项所述的坐标测量机，其特征在于，所述第一透镜元件组(40)以消色差的方式实施。

9.如权利要求1至3任一项所述的坐标测量机，其特征在于，所述物镜(43)的多个透镜元件组(40,42,44,46,48)的每个透镜元件组以消色差的方式实施。

10.如权利要求1至3任一项所述的坐标测量机，其特征在于，所述坐标测量机(10)还具有能够移动进所述空隙(62)中的至少一个色组件(111)，所述至少一个色组件(111)由引起纵向色差的单个色散元件(110)构成。

11.如权利要求10所述的坐标测量机，其特征在于，所述色散元件(110)是衍射光学元件或全息光学元件。

12.如权利要求1至3任一项所述的坐标测量机，其特征在于，所述物镜(43)具有光阑(52)和布置在共同的光轴上的至少四个透镜元件组(40,42,44,46,48)，所述光阑(52)以及来自所述至少四个透镜元件组的第二透镜元件组(42)、第三透镜元件组(44)和第四透镜元件组(46)能够沿所述光轴(50)相对于所述第一透镜元件组(40)移动，其中，所述第二透镜元件组(42)布置在所述第一透镜元件组(40)和所述光阑(52)之间，以及其中，所述第三和第四透镜元件组(44,46)布置在所述光阑(52)和所述出光开口(30)之间。

13.如权利要求12所述的坐标测量机，其特征在于，所述第一、第二、第三和第四透镜元件组(40,42,44,46)分别由至少两个透镜元件(97,98)构成。