[发明专利]基板传输装置及移动基板的方法

权利要求书

1.一种传输装置，用于沿着传输方向进行基板传输且用于在沿着所述传输方向延伸的第一传输路径与第二传输路径间进行交换，其中所述第一传输路径在转换方向中相对于所述第二传输路径移开，所述转换方向垂直于所述传输方向，所述传输装置包括：

第一基板支撑组件，定义第一轨道，以在腔体内支撑基板或基板载体；以及

第二基板支撑组件，定义第二轨道，以在所述腔体内支撑基板或基板载体，

其中所述第一基板支撑组件及所述第二基板支撑组件至少在所述转换方向中相对于彼此可移动。

2.如权利要求1所述的传输装置，其中

所述第一基板支撑组件至少在所述转换方向中可移动，其中所述第一轨道可对齐于所述第一传输路径及选择性地对齐于所述第二传输路径；以及

所述第二基板支撑组件至少在所述转换方向中可移动，其中所述第二轨道可对齐于所述第一传输路径及选择性地对齐于所述第二传输路径。

3.如权利要求1所述的传输装置，其中所述第一基板支撑组件及所述第二基板支撑组件相对于彼此可移动，其中所述第一轨道与所述第二轨道在所述转换方向中越过彼此。

4.如权利要求1所述的传输装置，其中

所述第一基板支撑组件包括第一支撑元件；以及

所述第二基板支撑组件包括第二支撑元件，

其中至少部分的所述第一支撑元件及至少部分的所述第二支撑元件在回避方向中相对于彼此可移动，所述回避方向垂直于所述传输方向及所述转换方向。

5.如权利要求4所述的传输装置，其中

所述第一支撑元件包括第一组的磁性支撑元件；以及

所述第二支撑元件包括第二组的磁性支撑元件，

其中所述第一及第二组的磁性支撑元件的至少其中之一配置以转动或倾斜来用于在所述回避方向中相对于对应的另一组的磁性支撑元件进行位移。

6.如权利要求4所述的传输装置，其中

所述第一支撑元件包括第一组的滚轮支撑元件；以及

所述第二支撑元件包括第二组的滚轮支撑元件，

其中所述第一及第二组的滚轮支撑元件的至少其中之一配置以转动或倾斜来用于在所述回避方向中相对于对应的另一组的滚轮支撑元件进行位移。

7.如权利要求5所述的传输装置，其中

所述第一支撑元件包括第一组的滚轮支撑元件；以及

所述第二支撑元件包括第二组的滚轮支撑元件，

其中所述第一及第二组的滚轮支撑元件的至少其中之一配置以转动或倾斜来用于在所述回避方向中相对于对应的另一组的滚轮支撑元件进行位移。

8.如权利要求7所述的传输装置，其中所述第一及第二组的磁性支撑元件配置以藉由磁力支撑实质上垂直方向的基板或基板载体的上部，且所述第一及第二组的滚轮支撑元件配置以支撑实质上垂直方向的基板或基板载体的下部，以及

其中所述第一及第二组的磁性支撑元件适用于被升高，且所述第一及第二组的滚轮支撑元件适用于被降低，

其中所述第一组的磁性及滚轮支撑元件在夹持基板或基板载体时，可在所述第一及第二基板支撑组件于所述转换方向中相对移动期间被所述第二组的磁性及滚轮支撑元件越过，且反之亦然。

9.如权利要求1所述的传输装置，其中

所述第一基板支撑组件包括第一支撑元件；以及

所述第二基板支撑组件包括第二支撑元件，

其中所述第一支撑元件及所述第二支撑元件适用于在所述第一基板支撑组件及所述第二基板支撑组件于所述转换方向中相对移动时越过彼此。

10.一种腔体，用于基板处理系统，该腔体包括：

至少一第一基板传输端口，用于沿着第一传输路径进行基板传输至所述腔体内或离开所述腔体，

至少一第二基板传输端口，用于沿着第二传输路径进行基板传输至所述腔体内或离开所述腔体；以及

根据权利要求1、2、3、4、5、6、7、8或9中的任一项所述的传输装置，所述传输装置配置于所述腔体内。

11.如权利要求10所述的腔体，其中所述腔体为基板处理腔体，用于沉积层于基板上，

其中基板处理位置位于所述基板处理腔体内，所述基板处理位置远离所述第一及第二传输路径，以及

其中所述第一及第二轨道独立地可对齐于所述基板处理位置。