[发明专利]激光脉冲聚焦

权利要求书

1.一种系统，其包括：

激光源，其被配置成发射一个或多个激光脉冲；

一个或多个光学元件，其改变所述一个或多个激光脉冲的脉冲长度；

监视装置，其被配置成测量所述一个或多个激光脉冲的脉冲长度，以检测所述脉冲长度的变化；以及

控制计算机，其被配置成：

接收来自所述监视装置的所测量的脉冲长度；

确定对所述脉冲长度的变化进行补偿的一个或多个激光参数；以及

根据所述一个或多个激光参数控制所述激光源。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述脉冲长度的变化是脉冲长度的增加或减少。

3.如权利要求1所述的系统，其中所述监视装置被配置成测量从所述一个或多个光学元件的聚焦物镜输出的所述一个或多个激光脉冲的脉冲长度。

4.如权利要求1所述的系统，其中所述控制计算机被配置成通过确定引入正啁啾或负啁啾以对所述脉冲长度的变化进行补偿的一个或多个参数来确定所述一个或多个激光参数。

5.如权利要求1所述的系统，其中：

所述一个或多个光学元件通过引起所述激光脉冲中的负啁啾来改变所述脉冲长度；以及

所述控制计算机被配置成通过确定引入正啁啾或负啁啾以对所述脉冲长度的变化进行补偿的一个或多个参数来确定所述一个或多个激光参数。

6.如权利要求1所述的系统，其中所述控制计算机被配置成通过以下操作而根据所述一个或多个激光参数来控制所述激光源：

指示所述激光源以调整所述激光源的放大器的循环次数。

7.如权利要求1所述的系统，其中所述一个或多个激光参数基本上对所述脉冲长度的变化进行补偿。

8.如权利要求1所述的系统，其中所述一个或多个激光参数部分地对所述脉冲长度的变化进行补偿。

9.一种方法，其包括：

由激光源发射一个或多个激光脉冲；

由一个或多个光学元件改变所述一个或多个激光脉冲的脉冲长度；

由监视装置测量所述一个或多个激光脉冲的脉冲长度以检测所述脉冲长度的变化；

在控制计算机处接收来自所述监视装置的所测量的脉冲长度；

由所述控制计算机确定对所述脉冲长度的变化进行补偿的一个或多个激光参数；以及

由所述控制计算机根据所述一个或多个激光参数来控制所述激光源。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述脉冲长度的变化是脉冲长度的增加或减少。

11.如权利要求9所述的方法，其中所述测量包括测量从所述一个或多个光学元件的聚焦物镜输出的所述一个或多个激光脉冲的脉冲长度。

12.如权利要求9所述的方法，其中所述确定所述一个或多个激光参数包括确定引入正啁啾或负啁啾以对所述脉冲长度的变化进行补偿的一个或多个参数。

13.如权利要求9所述的方法，其中：

所述一个或多个光学元件通过引起所述激光脉冲中的负啁啾来改变所述脉冲长度；以及

所述确定所述一个或多个激光参数包括确定引入正啁啾以对所述脉冲长度的变化进行补偿的一个或多个参数。

14.如权利要求9所述的方法，其中根据所述一个或多个激光参数来控制所述激光源包括：

指示所述激光源以调整所述激光源的放大器的循环次数。

15.如权利要求9所述的方法，其中所述一个或多个激光参数基本上对所述脉冲长度的变化进行补偿。

16.如权利要求9所述的方法，其中所述一个或多个激光参数部分地对所述脉冲长度的变化进行补偿。