[发明专利]物品保管设备及物品保管方法

权利要求书

1.一种物品保管设备，包括：

多个收纳部，收纳用于容纳基板的搬运容器；

搬运装置，相对于所述多个收纳部搬运所述搬运容器；

惰性气体供给部，针对所述多个收纳部的每一个收纳部而设置，包括：排出惰性气体的排出口；以及能够调节从所述排出口排出的所述惰性气体的流量的流量调节装置，该惰性气体供给部用于将所述惰性气体供给至收纳于所述收纳部的所述搬运容器的内部；以及

控制装置，控制所述搬运装置和所述流量调节装置的动作，

其特征在于，

所述物品保管设备包括将多个所述惰性气体供给部中的一部分或者所有选择为特定供给部的特定供给部选择部，

所述控制装置构成为，在收纳有所述搬运容器的所述收纳部的所述惰性气体供给部中，使所述流量调节装置按照容器保管模式动作，所述容器保管模式是以预先确定的供给方式对所述搬运容器供给所述惰性气体的模式，

并且所述控制装置构成为，在由所述特定供给部选择部所选择的所述特定供给部中，按照特定供给部用供给模式控制所述流量调节装置的动作，所述特定供给部用供给模式是从所述排出口以特定供给部用供给方式供给所述惰性气体的模式。

2.根据权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，

使所述惰性气体通流从而清扫所述惰性气体供给部的供给方式为清扫用供给方式，

所述特定供给部选择部是通过人为操作指示以所述清扫用供给方式供给惰性气体的清扫指令的清扫指示装置。

3.根据权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，

所述控制装置构成为，能够在第一供给状态和第二供给状态之间切换，所述第一供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为第一目标流量值的状态，所述第二供给状态是使所述流量调节装置动作以便将所述惰性气体供给部的所述惰性气体的供给流量调整为比所述第一目标流量值小的第二目标流量值的状态，

并且所述控制装置构成为，在所述搬运容器被搬运至所述收纳部时，在该收纳部的所述惰性气体供给部中，按照节约供给模型控制所述流量调节装置的动作，所述节约供给模型是以所述搬运容器收纳于所述收纳部的时刻为起点形成所述第一供给状态并且然后切换至所述第二供给状态的模型。

4.根据权利要求3所述的物品保管设备，其特征在于，

所述控制装置构成为能够存储多种所述节约供给模型，

所述物品保管设备设置有模型选择部，该模型选择部用于在所述搬运容器的收纳状态下选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型，

所述控制装置构成为，按照所述多种节约供给模型中的由所述模型选择部选择的节约供给模型来控制所述流量调节装置的动作。

5.根据权利要求4所述的物品保管设备，其特征在于，

所述模型选择部构成为，能够人为地选择使用所述多种节约供给模型中的某一个模型。

6.根据权利要求4所述的物品保管设备，其特征在于，

所述物品保管设备设置有设定输入装置，作为将所述节约供给模型特定的模型特定参数，该设定输入装置能够变更设定从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给时间、以及从所述惰性气体供给部向所述搬运容器供给所述惰性气体的供给流量，并人为地设定输入所述模型特定参数。

7.根据权利要求3至6中的任一项所述的物品保管设备，其特征在于，

所述物品保管设备设置有所述惰性气体的供给源，该供给源对与所述多个收纳部中的一组收纳部对应的一组所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，

设定从所述供给源对所述一组惰性气体供给部能够供给的最大容许流量，

所述控制装置构成为，在所述一组惰性气体供给部的所述惰性气体的目标流量的合计流量在所述最大容许流量以上的情况下，执行使所述一组惰性气体供给部的一部分或者所有的所述惰性气体的目标流量减少的流量抑制处理。

8.根据权利要求7所述的物品保管设备，其特征在于，

所述控制装置构成为，在所述流量抑制处理中，使针对所述一组惰性气体供给部的所有的所述目标流量以恒定的减少率减少。