[发明专利]双层陶瓷坩埚无效
| 申请号： | 201310002053.2 | 申请日： | 2013-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN103060908A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 郭宽新;邢国强 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双层 陶瓷 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种双层陶瓷坩埚，其特征在于：所述的双层陶瓷坩埚为内外双层结构，外层（2）为碳化硅材料的多孔陶瓷结构，内层（1）为氮化硅材料的陶瓷结构，所述的双层陶瓷坩埚由底面与侧边构成，所述的侧边垂直于底面。
2.根据权利要求 1所述的一种双层陶瓷坩埚，其特征在于：所述的双层陶瓷坩埚，侧边垂直于底面，所述的侧边与底面一体成型。
3.根据权利要求1所述的双层陶瓷坩埚，其特征在于：所述的双层陶瓷坩埚，侧边垂直于底面，所述的侧边两两互不相接。
4.根据权利要求1所述的双层陶瓷坩埚，其特征在于：坩埚的厚度（如图3示d）为15mm—50mm。
5.根据权利要求1所述的双层陶瓷结构，其特征在于：所述的内层（1）的孔隙率为0—30%，外层（2）的孔隙率为0—40%。
6.根据权利要求1所述的双层陶瓷结构，其特征在于：所述的内层（1）的为0.5mm—10mm，外层（2）的厚度为5mm—40mm。
7.根据权利要求1所述的双层陶瓷结构，其特征在于：所述的内层（1）材料氮化硅的成分>80%，外层（2）材料碳化硅的成份>60%。
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