[发明专利]三维形状测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种三维形状测量装置，其特征在于，包括：

投影部，产生并照射光栅图案光；

X-Y轴移动工作台，设置于所述投影部的下侧，移动测量对象；

光束分离部，设置于所述投影部和所述X-Y轴移动工作台之间，分离光栅图像或者照明图像并使其透过；

第一圆型照明部，设置于所述光束分离部的下侧，其产生的光照射到测量对象，以使测量对象反射照明图像；

多个反射镜，在所述光束分离部的下侧，沿着圆周方向相隔设置，当被测量对象反射的光栅图像或者照明图像照射所述多个反射镜时，对其进行反射；

第二圆型照明部，设置于所述多个反射镜的下侧，其产生的光照射到测量对象，以使测量对象反射照明图像；

多个成像部，分别设置于所述光束分离部和所述多个反射镜的一侧，拍摄从光束分离部和多个反射镜照射的光栅图像或者照明图像；

控制部，接收所述多个成像部拍摄的光栅图像或者照明图像，以计算测量对象的三维形状。

2.一种三维形状测量方法，其特征在于，包括：

利用X-Y轴移动工作台将测量对象移动到测量位置；

测量对象被移动至测量位置后，由光栅移动单元节对光栅元件进行栅距移动；

光栅元件进行栅距移动后，打开投影部的光源，朝测量对象照射光栅图案光；

朝测量对象照射光栅图案光时，多个成像部拍摄通过多个反射镜而入射的被测量对象反射的光栅图像；

多个成像部拍摄光栅图像后，关闭投影部的光源；

关闭投影部的光源后，控制部确认光栅元件是否是第N+1次栅距移动；

若光栅元件是第N+1次栅距移动，则打开第一圆型照明部或者第二圆型照明部，由多个成像部拍摄测量对象；

多个成像部拍摄测量对象之后，确认测量对象的测量是否结束；

若测量对象的测量结束，则控制部使用打开第一圆型照明部或者第二圆型照明部后拍摄测量对象而获取的测量对象的图像和由多个成像部拍摄的光栅图像，计算测量对象的三维形状。