[发明专利]图像传感器、姿势检测器、接触探头以及多传感探头

权利要求书

1.一种图像传感器，具备配置有两个以上的直线状的像素列的受光面，根据各像素的受光量对基于来自被照射体的反射光产生的有规则的条纹进行拍摄，该图像传感器的特征在于，

上述像素列中的至少两个像素列配置为形成大致90度的交角，获取投射于上述受光面的条纹中的以大致90度交叉的两个方向的线状条纹的像。

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，还具备：

信号读取单元，其从上述像素列的各像素读取与受光量相应的信号；以及

信号处理单元，其根据读取出的信号计算出上述线状条纹的亮部或暗部的位置，

其中，上述信号处理单元具有连接处理部，该连接处理部根据规定时间前后的上述亮部或暗部的位置的变化执行将上述两个方向的线状条纹的亮部之间或暗部之间相连接的处理，以估计平面的条纹图像。

3.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，

在上述至少两个像素列交叉的位置处配置有共有的像素。

4.根据权利要求3所述的图像传感器，其特征在于，

在上述共有的像素的周围配置有上述像素列的像素以外的多个像素。

5.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，

具备四个以上的上述直线状的像素列，

沿着大致矩形形状的四边配置这些像素列中的四个像素列。

6.一种姿势检测器，其特征在于，具备：

根据权利要求1所述的图像传感器；以及

干涉仪，其向形成于被照射体的反射面照射光，来将基于该反射光产生的干涉条纹投射到上述图像传感器，

其中，根据上述图像传感器获取的两个方向的线状条纹的像的变化检测上述被照射体的姿势的变化。

7.根据权利要求6所述的姿势检测器，其特征在于，上述干涉仪具有：

光源，其射出可干涉光；

分束器，其对来自上述光源的光进行分割；以及

参考镜，其接收一部分分割光的照射，

其中，照射上述被照射体的反射面的光是来自上述分束器的另一部分分割光，

上述图像传感器拍摄由于来自上述被照射体的反射面的反射光与来自上述参考镜的反射光之间的干涉而产生的干涉条纹。

8.一种姿势检测器，其特征在于，具备：

根据权利要求1所述的图像传感器；以及

图案投影单元，其将有规则的条纹图案投影到形成于被照射体的反射面，

其中，上述图案投影单元具有：

光源，其射出可干涉光；以及

投影元件，其配置在上述光源与上述被照射体之间的光路上，接收可干涉光并将上述条纹图案投影到上述被照射体的反射面，

其中，上述图像传感器设置于接收来自上述反射面的反射光的位置，

根据上述图像传感器获取的两个方向的线状条纹的像的变化检测上述被照射体的姿势的变化。

9.一种接触探头，其特征在于，具备：

根据权利要求6所述的姿势检测器；

壳体，其内置上述姿势检测器；

可动部，其构成为具有上述被照射体、与该被照射体一体地动作的触针以及触头，该触头安装在该触针的前端，与被测量物表面接近或抵接；以及

支承部，其设置于上述壳体，支承该可动部使得上述可动部的姿势根据上述触头的接近或抵接而变化，

其中，上述姿势检测器通过检测上述可动部的姿势的变化，来定量地检测上述触头受到来自被测量物表面的作用力时的该触头的三维坐标上的位移。

10.一种多传感探头，在该多传感探头中，根据权利要求9所述的接触探头中的上述可动部设置成能够自由装卸于上述壳体，该多传感探头的特征在于，

在从壳体卸下了上述可动部的状态下，在卸下前的上述可动部的上述反射面的位置处配置设置于其它的检测对象物的反射面，来检测该检测对象物的姿势的变化。