[发明专利]处理装置及测试装置

权利要求书

1.一种处理装置，是将多个被测试器件搬送到测试用插座上的处理装置，其具有：

测试部，设置有所述插座；

加热部，其搬送在表面上载置了所述多个被测试器件的托盘，将所述多个被测试器件的温度控制为预先规定的测试温度，并将所述托盘搬送到所述测试部；

器件摄像部，在所述加热部内，具有沿第1方向排列与所述被测试器件同数目的多个摄像元件，沿与第1方向不平行的第2方向，相对于所述托盘的表面相对地移动所述多个摄像元件，来拍摄各个被测试器件的图像；以及

位置调整部，其基于所述器件摄像部拍摄到的各个所述被测试器件的图像，调整所述被测试器件相对于所述插座的位置。

2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述多个摄像元件被排列在与在所述托盘上排列的所述多个被测试器件的行方向大致平行的所述第1方向上，沿与被排列在所述托盘上的所述多个被测试器件的列方向大致平行的所述第2方向移动。

3.根据权利要求2所述的处理装置，其特征在于：

所述位置调整部，在所述加热部内的所述托盘上，调整所述被测试器件的位置。

4.根据权利要求3所述的处理装置，其特征在于：

所述位置调整部，具有执行器，其巡视2个以上的所述被测试器件，对所巡视的各个所述被测试器件的位置进行调整。

5.根据权利要求4所述的处理装置，其特征在于：

所述执行器，在拍摄所述器件摄像部的任何一个所述被测试器件的图像的期间，调整已经拍摄了所述图像的所述被测试器件的位置。

6.根据权利要求4所述的处理装置，其特征在于：

所述位置调整部，具有被配置在所述行方向的多个所述执行器，使多个所述执行器沿所述列方向移动。

7.根据权利要求6所述的处理装置，其特征在于：

在所述行方向配置的所述执行器的数目与在所述行方向配置的所述被测试器件的数相等。

8.根据权利要求2所述的处理装置，其特征在于：

所述器件摄像部还拍摄被所述位置调整部进行了位置调整后的所述被测试器件。

9.根据权利要求8所述的处理装置，其特征在于：

所述器件摄像部，当在所述测试部内测试的所述被测试器件的测试时间比预先规定的基准时间长时，再次拍摄被所述位置调整部进行了位置调整后的所述被测试器件。

10.根据权利要求2所述的处理装置，其特征在于：

还具有用于拍摄所述插座的插座摄像部；

所述位置调整部，其基于所述器件摄像部及所述插座摄像部所拍摄的图像，调整所述被测试器件的位置。

11.根据权利要求10所述的处理装置，其特征在于：

所述测试部具有被排列在所述行方向及所述列方向的多个所述插座；

所述插座摄像部，在所述测试部内，沿所述行方向及所述列方向移动，拍摄各个所述插座的图像。

12.根据权利要求10所述的处理装置，其特征在于：

所述插座摄像部，在变更了所述测试部内的温度设定时，重新拍摄所述插座的图像。

13.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述位置调整部，具有沿第1方向排列与所述被测试器件同数目的多个执行器，基于所述器件摄像部所拍摄的各所述被测试器件的图像，调整所述被测试器件相对于所述插座的位置；

所述器件摄像部及所述位置调整部，不沿所述第1方向或所述第2方向的任何方向移动，且，通过所述托盘沿所述第2方向移动，所述器件摄像部及所述位置调整部相对于所述托盘的表面，沿所述第2方向作相对移动。

14.一种测试装置，是测试所述被测试器件的测试装置，具有：

借助于所述插座与所述被测试器件电连接的测试头；

借助于所述测试头，测试所述被测试器件的测试模块；

将所述被测试器件搬送至所述插座的权利要求1至13项中任何一项所述的处理装置。