[发明专利]具有位置测量装置的多个扫描单元的装置

权利要求书

1.一种装置，具有

-对象（1；11），所述对象至少沿两个正交的、第一和第二主运动轴线（y，x）相对于基准系统能运动地布置，和

-用于检测所述对象（1；11）相对于所述基准系统的位置的位置测量装置，所述位置测量装置具有至少两个、沿所述第一主运动轴线（y）布置的、二维量具（2.1，2.2；12.1-12.4）和四个用于光学地扫描所述量具（2.1，2.2；12.1-12.4）的扫描单元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h），

其特征在于，

所述位置测量装置为了检测位置而包括至少四个附加的扩展扫描单元（1.2c-1.2f；11.2c-11.2f），所述扩展扫描单元沿所述第一主运动轴线（y）布置在所述四个扫描单元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）之间。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，外部的所述扫描单元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）沿所述第一主运动轴线（y）的最大间距（DA_y1）分别相应于所述量具（2.1，2.2；12.1-12.4）之一沿所述第一主运动轴线（y）的长度（DM_y）。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，内部的所述扩展扫描单元（1.2c-1.2f；11.2c-11.2f）沿所述第一主运动轴线（y）的间距（DA_y2）小于外部的所述扫描单元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）沿所述第一主运动轴线（y）的所述间距（DA_y1）。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述扫描单元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）和所述扩展扫描单元（1.2c-1.2f；11.2c-11.2f）沿所述第二主运动轴线（x）的最大间距（DA_x）等于所述量具（2.1，2.2；12.1-12.4）沿所述第二主运动轴线（x）的长度（DM_x）。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，沿所述第一主运动轴线（y）得出最大移动路径

V＝2·DM_y-DA_y2，

其中，

V：=沿所述第一主运动轴线的最大移动路径，

DM_y：=所述量具沿所述第一主运动轴线的长度，

DA_y2：=所述扩展扫描单元沿所述第一主运动轴线的间距，

其中，沿所述移动路径（V）通过所述扫描单元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h；11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）和所述扩展扫描单元（1.2c-1.2f；11.2c-11.2f）能持续地检测位置。

6.根据前述权利要求中至少一项所述的装置，其特征在于，四个所述扫描单元（1.2a，1.2b，1.2g，1.2h）和四个所述扩展扫描单元（1.2c-1.2f）布置在所述对象（1）的一侧。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，沿所述第二主运动轴线（x），至少两个另外的二维量具（12.3，12.4）相邻于至少两个、沿所述第一主运动轴线（y）布置的所述二维量具（12.1，12.2）布置。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述扫描单元（11.2a；11.2b，11.2g，11.2h）和所述扩展扫描单元（1.2c-1.2f）沿所述第二主运动轴线（x）的最小间距等于所述二维量具（12.1-12.4）沿所述第二主运动轴线（x）的间距（d_x）与所述量具（12.1-12.4）沿所述第二主运动轴线（x）的所述长度（DM_x）之和。