[发明专利]一种扩散炉智能温控系统

权利要求书

1.一种扩散炉智能温控系统，包括可控硅、触发电路、温控仪、PLC控制器、热电偶、舟控制装置和质量流量计，其特征是，还包括冷端组件、气体混合控制器和工控机或触摸屏，所述可控硅包括分别与设置在扩散炉炉体内的若干个电阻丝连接的若干个可控硅，所述触发电路分别与可控硅和温控仪连接；

所述热电偶包括若干个炉内热电偶和若干个炉壁热电偶，所述炉内热电偶分别设置在扩散炉炉体内各个温区并分别通过冷端组件与温控仪连接，所述炉壁热电偶分别设置在各个温区的扩散炉炉壁上并分别通过冷端组件与温控仪连接；

所述PLC控制器分别与温控仪和扩散炉的舟控制装置连接，所述气体混合控制器分别与温控仪和质量流量计连接，所述质量流量计设置在扩散炉的气体输入管道中，所述质量流量计和扩散炉炉体之间的气体输入管道中还设置有气动阀，所述气动阀的控制端与PLC控制器连接；所述工控机或触摸屏与PLC控制器连接。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉智能温控系统，其特征是，所述冷端组件内设置有温度传感器，所述温度传感器与温控仪连接。

3.根据权利要求1所述的一种扩散炉智能温控系统，其特征是，所述扩散炉炉体内设置5个温区，所述每个温区相应设置一个电阻丝、一个炉内热电偶和一个炉壁热电偶。

4.根据权利要求1所述的一种扩散炉智能温控系统，其特征是，所述温控仪包括处理器、数据采集电路、输出控制电路、RS485接口、网络接口、存储模块和电源模块；所述数据采集电路包括热电偶数据采集电路和冷端组件温度采集电路，所述热电偶数据采集电路包括依次串联接的低通滤波电路、A/D转换模块和磁耦隔离电路，所述低通滤波电路与热电偶连接，所述磁耦数字隔离电路与处理器连接，所述冷端组件温度采集电路包括与温度传感器连接的A/D转换模块，所述与温度传感器连接的A/D转换模块通过磁耦隔离电路与温控仪连接；所述输出控制电路包括4-20mA电流输出电路、PWM脉冲输出电路、控制回路输出电路和报警继电器输出电路，所述4-20mA电流输出电路包括磁耦隔离电路、D/A转换模块和V/I转换电路，所述D/A转换模块通过磁耦隔离电路与处理器连接，所述V/I转换电路与D/A转换模块连接，所述PWM脉冲输出电路、控制回路输出电路和报警继电器输出电路分别通过光电隔离电路与处理器连接；所述RS485接口包括分别通过磁耦隔离电路与处理器连接的主、从RS485接口；所述网络接口和存储模块分别与处理器连接；所述电源模块为温控器提供工作电源。

5.根据权利要求4所述的一种扩散炉智能温控系统，其特征是，所述存储模块包括铁电存储器和EEPROM存储器，所述铁电存储器用于存储实时数据记录，所述EEPROM存储器用以参数掉电保护。