[发明专利]用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置

权利要求书

1.一种用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置，其特征在于：该装置由分光器(1)、可调狭缝(2)、高精度光谱仪(3)、线宽反馈控制系统(4)组成，上述各部分的位置关系如下： 

准分子激光器由耦合输出镜(7)、放电腔(8)、线宽压窄模块(9)组成，所述的分光器(1)置于所述的窄线宽准分子激光器的耦合输出镜(7)之外，所述的可调狭缝(2)置于所述的窄线宽准分子激光器中，所述的分光器(1)将输出的激光分为透射的第一光束(5)和反射的第二光束(6)，所述的第一光束(5)作为主要能量输出，第二光束(6)作为探测光入射到高精度光谱仪(3)，高精度光谱仪(3)实时测量到的激光线宽值由所述的线宽反馈控制系统(4)进行数据处理，根据计算结果相应调节所述的可调狭缝(2)的宽度，从而改变激光的线宽，最终实现激光线宽的稳定控制。 

2.根据权利要求1所述的线宽稳定控制装置，其特征在于所述的可调狭缝(2)的数量为1或2，将1个可调狭缝(2)置于所述的窄线宽准分子激光器的输出镜放电腔(8)与耦合输出镜(7)之间，或放电腔(8)与线宽压窄模块(9)之间；将2个可调狭缝(2)分别置于所述的放电腔(7)与耦合输出镜(8)之间和放电腔(8)与线宽压窄模块(9)之间。 

3.根据权利要求1所述的线宽稳定控制装置，其特征在于所述的可调狭缝宽度在水平方向可调，调节范围为1毫米~5毫米。 

4.根据权利要求1所述的窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置，其特征在于所述的第一光束(5)和第二光束(6)的分光比为：95~80%：5~20%。 

5.根据权利要求1所述的线宽稳定控制装置，其特征在于所述的高精度光谱仪(3)的光谱分辨率0.01皮米~1皮米。 

6.根据权利要求1至5任一项所述的线宽稳定控制装置，其特征在于所述的线宽反馈控制系统(4)是一台计算机，对高精度光谱仪(3)的实测光谱线宽进行数据处理，并根据处理结果显示相应的线宽值、与目标线宽的差值、可调狭缝(2)的调节量。