[发明专利]碲锌镉多晶合成用具及其合成方法

权利要求书

1.一种碲锌镉多晶合成用具，其特征在于，包括：

一次合成组件（1），包括：

一次合成石英坩埚（11），用于容纳合成碲锌镉多晶的组成料（3）；以及

一次合成封套（13），在一次合成石英坩埚（11）容纳有所述组成料后置于一次合成石英坩埚（11）内并在一次合成石英坩埚（11）竖直设置时紧贴所述组成料的上方；

其中，一次合成石英坩埚（11）在一次合成封套（13）置于其内之后被抽真空并在一次合成封套（13）处封管，封管后的一次合成石英坩埚（11）竖直放入摇摆合成炉中加热合成得到一次合成碲锌镉多晶（4）；二次合成组件（2），包括：

二次合成石英坩埚（21），用于容纳通过将一次合成碲锌镉多晶（4）破碎而获得的破碎后的一次合成碲锌镉多晶（5）；

二次合成第一封套（23），在二次合成石英坩埚（21）容纳有破碎后的一次合成碲锌镉多晶（5）后置于二次合成石英坩埚（11）内并在二次合成石英坩埚（21）竖直设置时紧贴破碎后的一次合成碲锌镉多晶（5）；以及

二次合成第二封套（25），置于二次合成石英坩埚（11）内且在二次合成石英坩埚（21）竖直设置时置于二次合成第一封套（23）上方；

其中，二次合成石英坩埚（21）在破碎后的一次合成碲锌镉多晶（5）、二次合成第一封套（23）、二次合成第二封套（25）置于其内之后被抽真空并在二次合成第二封套（25）处封管，竖直放入摇摆合成炉中加热合成得到二次合成碲锌镉多晶（6），之后二次合成石英坩埚（21）在二次合成第一封套（23）处封管以用于单晶生长。

2.根据权利要求1所述的碲锌镉多晶合成用具，其特征在于，在破碎一次合成碲锌镉多晶（4）之前，用惰性气体吹扫一次合成碲锌镉多晶（4）。

3.一种碲锌镉多晶的合成方法，其特征在于，包括步骤：

一次合成，包括：

将碲锌镉多晶的组成料（3）装入一次合成组件（1）的一次合成石英坩埚（11）；

将一次合成组件（1）的一次合成封套（13）置于一次合成石英坩埚（11）内并在一次合成石英坩埚（11）竖直设置时紧贴所述组成料（3）的上方；

将一次合成石英坩埚（11）抽真空并在一次合成封套（13）处封管；以及

将封管后的一次合成石英坩埚（11）竖直放入摇摆合成炉中加热合成，得到一次合成碲锌镉多晶（4）；

二次合成，包括：

将一次合成碲锌镉多晶（4）破碎并将破碎后的一次合成碲锌镉多晶（5）容纳于二次合成组件（2）的二次合成石英坩埚（21）内；

将二次合成组件（2）的二次合成第一封套（23）置于二次合成石英坩埚（11）内并在二次合成石英坩埚（21）竖直设置时紧贴破碎后的一次合成碲锌镉多晶（5）；以及

将二次合成组件（2）的二次合成第二封套（25）置于二次合成石英坩埚（11）内且在二次合成石英坩埚（21）竖直设置时置于二次合成第一封套（23）上方；

将二次合成石英坩埚（21）抽真空并在二次合成第二封套（25）处封管；

将封管后的二次合成石英坩埚（21）竖直放入摇摆合成炉中加热合成，得到二次合成碲锌镉多晶（6）；

之后，将二次合成石英坩埚（21）在二次合成第一封套（23）处封管以用于单晶生长。

4.根据权利要求3所述的碲锌镉多晶的合成方法，其特征在于，在二次合成中，在将一次合成碲锌镉多晶（4）破碎之前，用惰性气体吹扫一次合成碲锌镉多晶（4）。

5.根据权利要求3所述的碲锌镉多晶的合成方法，其特征在于，所述一次合成中的加热合成包括子步骤：

在室温至第一温度以阶梯升温并保温的方式进行，第一温度低于所述碲锌镉多晶的熔点；

从第一温度以第一升温速率至一次合成温度，一次合成温度在所述碲锌镉多晶的熔点以上；

使摇摆合成炉启动摇摆，并在一次合成温度下保温；以及

使摇摆合成炉停止摇摆，并以第一降温速率降温至所述碲锌镉多晶的熔点以下，之后快速降温至室温。

6.根据权利要求5所述的碲锌镉多晶的合成方法，其特征在于，所述二次合成中的加热合成包括子步骤：

以比第一升温速率高的第二升温速率从室温升温至二次合成温度，二次合成温度高于所述碲锌镉多晶的熔点且在一次合成温度以下；

在二次合成温度下保温比一次合成温度下保温时间短的时间；以及

之后快速冷却至室温。