[发明专利]电编程熔丝结构有效
| 申请号： | 201310007165.7 | 申请日： | 2013-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN103915411A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 廖淼 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 编程 结构 | ||
1.一种电编程熔丝结构，其特征在于，包括：
阳极和阴极；
位于所述阳极和阴极之间的熔丝区，所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝，多条所述熔丝具有不同的宽度。
2.如权利要求1所述的电编程熔丝结构，其特征在于，所述熔丝区包括n块子熔丝区，每块子熔丝区中各具有m条长度和宽度均相同的熔丝，不同子熔丝区中的熔丝宽度各不相同；其中，n大于等于2，m大于等于2。
3.如权利要求2所述的电编程熔丝结构，其特征在于，不同子熔丝区中的熔丝的长度不同。
4.如权利要求2所述的电编程熔丝结构，其特征在于，不同子熔丝区中的熔丝的长宽比相同。
5.如权利要求1所述的电编程熔丝结构，其特征在于，所述熔丝的材质为多晶硅。
6.如权利要求1所述的电编程熔丝结构，其特征在于，所述电编程熔丝结构的材质为多晶硅。
7.如权利要求1所述的电编程熔丝结构，其特征在于，所述熔丝为长条状，各熔丝的长宽比成正比关系。
8.如权利要求7所述的电编程熔丝结构，其特征在于，所述熔丝的长宽比范围为2~8。
9.如权利要求7所述的电编程熔丝结构，其特征在于，所述熔丝的长宽比相同。
10.如权利要求9所述的电编程熔丝结构，其特征在于，所述阳极或阴极中的某一极紧邻所述熔丝区的一侧为平直的边缘，另一极紧邻所述熔丝区的一侧包括多条朝向所述熔丝区伸出的凸条，各凸条的长度各不相同，以适应连接不同长度的熔丝。
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