[发明专利]一种新型的紫外发光二极管结构无效
申请号: | 201310007371.8 | 申请日: | 2013-01-09 |
公开(公告)号: | CN103296156A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 赵志斌;曲轶;张晶 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/14;H01L33/04 |
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地址: | 130022 吉林省长春市朝*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 紫外 发光二极管 结构 | ||
1.一种新型紫外发光二极管结构,包括缓冲层,n型层,活跃区,p型电子阻挡层,p型层和p型接触层的设计。
2.根据要求1所述,在发光二级管结构的设计中,其特征在于,
(1)在c面蓝宝石上依次生长缓冲层AlN、 n型层Al0.4Ga0.6N、 活跃区Al0.565Ga0.435N/Al0.5Ga0.5N、 p型电子阻挡层Al0.19Ga0.81N、 p型层Al0.2Ga0.8N/GaN、 p型接触层GaN。
(2)以AlN作为缓冲层,其厚度为600nm和掺杂2×1018cm-3Si。
(3)以Al0.4Ga0.6N为n型层,其厚度为130nm和掺杂2×1018cm-3Si。
(4)以4个5nm厚Al0.565Ga0.435N为活跃区,中间由10nm厚掺杂2×1018cm-3Si的 Al0.5Ga0.5N隔开。
(5)以Al0.19Ga0.81N作为p型电子阻挡层,其掺杂0.1×1018cm-3Mg。
(6)以Al0.2Ga0.8N/GaN作为p型层,其厚度为130nm和掺杂0.4×1018cm-3Mg。
(7)以GaN为p型接触层,其厚度为5nm和掺杂1×1018cm-3Mg。
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