[发明专利]一种基板涂布机的管路排泡方法、装置及相应的涂布机

说明书

技术领域

本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD）的制程技术，特别涉及一种基板涂布机的管路排泡方法、装置及相应的涂布机。

背景技术

在现有的TFT-LCD产品的生产制程中，一般需要对上版及下版进行处理，下版为TFT阵列（TFT Array）制程玻璃，而上版则是彩色滤光片（Color Filter, CF）制程玻璃。在这两种玻璃上均需要进行涂布的过程，需要将光阻涂布于所述两种玻璃基板上。由于涂布机（Coater）的管路中或多或少会存在气泡，故首先需要进行排泡处理。

在现有涂布机中对管道进行排泡处理一般采用多次排泡和分段排泡的方式来完成，其中排泡次数通常由经验值进行确定，但是这两种方式通常可以将大颗气泡排出，但是微小气泡通常聚集与管路系统的接口和附着在管壁上无法排出。因此，在现有的方式中，会出现排泡不尽的情形或者需要很多次的排泡过程才能将气泡排尽，在第一种情形中，如果管道中排泡不尽通常会导致通过喷嘴向基板最终的涂布效果不均匀，使得产品品质发生异常，甚至导致产品失败，而处理这些异常无疑会导致产能下降；在另一种情形中，如果需而很多次的排泡过程，则需要进行多次的排泡过程，每次的排泡过程均需要光阻在管道中流动，故会导致光阻的浪费。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种基板涂布机的管路排泡方法、装置及相应的涂布机，可以在对基板涂布机的管路进行排泡时，提高光阻的利用效率。

为了解决上述技术问题，本发明的实施例的一方面提供一种基板涂布机的管路排泡装置，所述管路排泡装置包括：

注射泵，用于将光阻从储存容器注射到涂布机的涂布机管道中；

控制单元，用于启动注射泵持续一第一时间，驱动所述光阻在所述涂布机的涂布机管道中流动，进行一次排泡处理过程；以及在一次排泡处理过程结束后，关闭所述注射泵持续一第二时间；并在所述涂布机管道中的小气泡在该第二时间内积聚后，再次启动注射泵，重复排泡过程，直至所述涂布机管道中的所有小气泡排泡完成。

其中，所述控制单元进一步包括：

注射泵启动控制子单元，用于启动注射泵持续一第一时间，驱动所述光阻在所述涂布机的涂布机管道中流动；

注射泵关闭控制子单元，用于在一次排泡处理过程结束后，关闭所述注射泵持续一第二时间；

判断处理子单元，用于判断排泡是否完成，如果判断结果为排泡尚未完成，则在所述注射泵关闭控制子单元关闭所述注射泵并持续第二时间后，控制所述注射泵启动控制子单元重新启动所述注射泵。

其中，所述控制单元进一步包括：

设置子单元，用于设置所述第一时间和所述第二时间值。

其中，进一步包括：

振动装置，用于在所述第二时间内，为所述涂布机管道提供震动波。

其中，所述控制单元进一步包括：

振动装置控制子单元，用于在所述判断处理子单元判断到所述排泡尚未完成时，驱动所述振动装置向所述涂布机管道提供震动波。

本发明实施例的另一方面，提供一种基板涂布机，可以实现对管道的排泡，其至少包括涂布机管道以及连接在所述涂布机管道上的喷头，进一步包括前述的管路排泡装置。

本发明实施例的再一方面，提供一种基板涂布机的管路排泡方法，至少包括如下步骤：

启动注射泵持续一第一时间，所述注射泵将光阻从储存容器注射到涂布机的涂布机管道中；

驱动所述光阻在所述涂布机的涂布机管道中流动，进行一次排泡处理过程；

在该次排泡处理过程结束后，关闭所述注射泵并持续一第二时间； 

待所述涂布机管道中的小气泡在所述第二时间内积聚后，再次启动注射泵，重复排泡过程，直至所述涂布机管道中的所有小气泡排泡完成。

其中，进一步包括：预先设置所述第一时间与所述第二时间。

其中，所述排泡过程包括分段排泡过程。

其中，所述涂布机管道中的小气泡在该第二时间积聚的步骤具体为：

在所述第二时间内，静置所述涂布机管道，使所述小气泡积聚；或者

在所述第二时间内，向所述涂布机管道提供震动波，使所述小气泡积聚。

实施本发明实施例，具有如下有益效果：