[发明专利]一种蓝宝石晶体退火工艺无效
| 申请号： | 201310009720.X | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103014874A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 刘书强;任多奇;樊国岑;于超;魏国涛 | 申请（专利权）人： | 焦作市光源晶电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454150 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶体 退火 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石晶体退火工艺，其特征在于所述的蓝宝石晶体退火工艺包括以下步骤:
第一步：高温阶段，炉内温度采用每小时下降15℃-40℃速度降温，直至炉内温度降至1600℃；
第二步：中温阶段，炉内温度采用每小时下降60℃-80℃速度降温，直至炉内温度降至500℃；
第三步：低温阶段，关闭炉内加热设备，同时向炉内充入惰性气体冷却至室温即可。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体退火工艺，其特征在于：所述的蓝宝石单晶生长结束后即蓝宝石单晶生长炉内进行退火。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体退火工艺，其特征在于：所述的惰性气体压力值为1-1.5个标准大气压。
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