[发明专利]一种有机电致发光装置及其制备方法无效
申请号: | 201310010864.7 | 申请日: | 2013-01-11 |
公开(公告)号: | CN103928629A | 公开(公告)日: | 2014-07-16 |
发明(设计)人: | 周明杰;王平;冯小明;钟铁涛 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有机 电致发光 装置 及其 制备 方法 | ||
1.一种有机电致发光装置,其特征在于,包括依次层叠的衬底基板、阴极、pn结层、有机发光功能层、阳极,所述pn结层包括依次层叠的第一金属层、中间层、第二金属层,所述第一金属层的金属表面功函数大于等于5.1eV,所述中间层的材质为金属和金属氧化物形成的混合物,所述金属与所述第一金属层的材质一样,所述金属氧化物为AgO、TiO2、NiO、Ta2O5或CeO2,所述第二金属层的材质为Li、Na、Rb或Cs。
2.如权利要求1所述的有机电致发光装置,其特征在于,所述第一金属层的材质为Au、Cu、Ni、Pt或Ag。
3.如权利要求1所述的有机电致发光装置,其特征在于,所述中间层的材质中金属与金属氧化物的质量比为1:2~1∶10。
4.如权利要求1所述的有机电致发光装置,其特征在于,所述第一金属层的厚度为10~25nm,所述中间层的厚度为3~8nm,所述第二金属层的厚度为5~20nm。
5.如权利要求1所述的有机电致发光装置,其特征在于,所述阴极的材质为透明导电氧化物薄膜,所述透明导电氧化物薄膜的材质为铟锡氧化物、铟锌氧化物、铝锌氧化物或镓锌氧化物。
6.一种有机电致发光装置的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供衬底基板,将所述衬底基板进行超声清洗,清洗干净后在超声波中处理,再吹干;
在所述衬底基板表面溅射制备阴极,溅射条件是真空度1.0×10-31.0×10-5Pa,溅射速度0.1~1nm/s;
在所述阴极表面利用热蒸发技术依次制备pn结层、有机发光功能层、阳极,所述pn结层包括依次层叠的第一金属层、中间层、第二金属层,所述第一金属层的金属表面功函数大于等于5.1eV,所述中间层的材质为金属和金属氧化物形成的混合物,所述金属与所述第一金属层的材质一样,所述金属氧化物为AgO、TiO2、NiO、Ta2O5或CeO2,所述第二金属层的材质为Li、Na、Rb或Cs;所述热蒸发的条件是真空度1.0×10-3~1.0×10-5Pa,蒸镀速度0.02~0.5nm/s。
7.如权利要求6所述的有机电致发光装置的制备方法,其特征在于,所述第一金属层的材质为Au、Cu、Ni、Pt或Ag。
8.如权利要求6所述的有机电致发光装置的制备方法,其特征在于,所述中间层的材质中金属与金属氧化物的质量比为1:2~1:10。
9.如权利要求6所述的有机电致发光装置的制备方法,其特征在于,所述第二金属层的材质通过加热分解其碳酸盐或者叠氮化盐得到。
10.如权利要求6所述的有机电致发光装置的制备方法,其特征在于,所述阴极的材质为透明导电氧化物薄膜,所述透明导电氧化物薄膜的材质为铟锡氧化物、铟锌氧化物、铝锌氧化物或镓锌氧化物。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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H01L51-54 .. 材料选择