[发明专利]半导体装片设备的顶针、芯片、吸嘴三点一线检测方法在审

专利信息
申请号: 201310012596.2 申请日: 2013-01-14
公开(公告)号: CN103065999A 公开(公告)日: 2013-04-24
发明(设计)人: 杨本金 申请(专利权)人: 无锡市玉祁红光电子有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/66
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 214183 江苏省无锡市惠山区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 半导体 设备 顶针 芯片 三点一线 检测 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种半导体装片设备的顶针、芯片、吸嘴三点一线检测方法。

背景技术

目前,半导体装片设备的顶针、芯片、吸嘴三点一线检测方法是在芯片的蓝膜空白处贴上一段白色生料带,再将装片机的识别灯光调节至能在显示器上明显看出白色生料带,将吸头移至吸片位置,将吸头往下压一压,使之在蓝膜上的生料带上留下吸嘴印记,然后从显示器上观察吸嘴印中心是否处于芯片的中心;将顶针顶起,从显示器上观察生料上的顶针孔是否与芯片十字中心重合。采用此种检测方法,操作繁琐,且需要用到白色生料带,每台设备完成整个检查过程时间较长,最少要5分钟,并且要重新调节设备灯光参数,并只能由设备维修人员进行操作,有一定的局限性。

发明内容

本发明的目的在于针对上述问题,提供一种半导体装片设备的顶针、芯片、吸嘴三点一线检测方法,以解决现有半导体装片设备的顶针、芯片、吸嘴三点一线检测方法操作繁琐,时间长,具有局限性的问题。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现:

一种半导体装片设备的顶针、芯片、吸嘴三点一线检测方法,包括以下步骤:

a、选中一只芯片,将吸头移至吸片位置,目测观察吸头的吸嘴位置,并调整使其与芯片中心对应;

b、吸取一只芯片离开蓝膜,目测观察蓝膜上的顶针孔位置,并调整使其与芯片中心位置对应。

进一步的,从前方及右方目测观察吸头的吸嘴位置。

进一步的,从前方及右方目测观察顶针孔位置,并移动顶针座,使顶针孔与芯片中心位置对应。

本发明的有益效果为,所述半导体装片设备的顶针、芯片、吸嘴三点一线检测方法直接通过目测观察来检测,任何员工都可完成,局限性小,操作方便简单,且无需用到白色生料带,节约了物料成本,整个检测过程只需10秒左右,无需调节设备灯光参数,省时省力。

具体实施方式

下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

于本实施例中,一种半导体装片设备的顶针、芯片、吸嘴三点一线检测方法,包括以下步骤:

a、选中一只芯片,将吸头移至吸片位置,从前方及右方目测观察吸头的吸嘴位置,并调整使其与芯片中心对应;

b、吸取一只芯片离开蓝膜,从前方及右方目测观察蓝膜上的顶针孔位置,并移动顶针座,使顶针孔与芯片中心位置对应。

本发明通过目测观察来检测顶针、芯片、吸嘴是否三点一线,操作方便,每个员工都可完成,局限性小,且无需用到白色生料带,节约了物料成本,整个检测过程只需10秒左右,无需调节设备灯光参数,省时省力。

以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性,本发明不受上述实施例限制,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还有各种变化和改变,这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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