[发明专利]一种镍铜合金渗镀层的制备方法

权利要求书

1.一种镍铜合金渗镀层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）在辉光离子渗金属炉中，将预处理好的不锈钢工件悬挂在辉光离子渗金属炉内的支架上充当阴极，源极选用镍铜靶，环绕不锈钢工件摆放，阳极接在炉壳上并接地；

2）然后将所述辉光离子渗金属炉的炉腔内部抽至极限真空，再通入氩气，使炉腔内气压维持在35Pa～45Pa，接通阴极电源，在阳极与阴极间施加直流电压，当阴极温度升至300℃～400℃时，对不锈钢工件进行离子轰击清洗；然后再调节阴极电压，同时接通源极电源，在源极与阳极间施加直流电压，使源极电压为-900～-950V，继续使不锈钢工件升温，然后进行等离子渗镀镍铜合金镀层，然后断开源极和阴极电压，然后冷却至室温，即得到所述镍铜合金渗镀层。

2.根据权利要求1所述的镍铜合金渗镀层的制备方法，其特征在于，所述不锈钢工件为奥氏体不锈钢工件。

3.根据权利要求1所述的镍铜合金渗镀层的制备方法，其特征在于，所述镍铜靶是用镍棒和铜棒固定在镍杆上制成的靶材。

4.根据权利要求1至3任一项所述的镍铜合金渗镀层的制备方法，其特征在于，在步骤2）中，所述极限真空为1×10^-1Pa。

5.根据权利要求1至3任一项所述的镍铜合金渗镀层的制备方法，其特征在于，在步骤2）中，所述通入氩气的流量为30sccm～35sccm。

6.根据权利要求1至3任一项所述的镍铜合金渗镀层的制备方法，其特征在于，在步骤2）中，所述对不锈钢工件进行离子轰击清洗的时间为20min～30min。

7.根据权利要求1至3任一项所述的镍铜合金渗镀层的制备方法，其特征在于，在步骤2）中，所述调节阴极电压后的电压范围为-450～-500V。

8.根据权利要求1至3任一项所述的镍铜合金渗镀层的制备方法，其特征在于，在步骤2）中，所述进行等离子渗镀镍铜合金镀层的工艺条件为：在源极温度维持在950℃～1000℃，不锈钢工件温度控制在800～850℃的条件下进行等离子渗镀镍铜合金镀层，并保温1～3小时。